Металл душ бастиегі, газ тарату тақтасы немесе газ душ бастиегі ретінде белгілі, жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде кеңінен қолданылатын маңызды құрамдас бөлік. Оның негізгі функциясы - жартылай өткізгіш материалдардың процесспен біркелкі жанасуын қамтамасыз ететін газдарды реакция камерасына біркелкі тарату. газдар.**
Металл душ басы әртүрлі жартылай өткізгіш процестерде кеңінен қолданылады, соның ішінде физикалық бу тұндыру (PVD), химиялық бу тұндыру (CVD), плазмадағы жақсартылған CVD (PECVD), эпитаксия (EPI) және ою. Бұл процестер интегралды схемаларды өндіру үшін іргелі болып табылады және душ басы осы операциялардың әрқайсысында газ тарату механизмінің негізгі компоненті ретінде әрекет етеді. Душ басы қамтамасыз ететін дәл және біркелкі газ ағыны оңтайлы тұндыру немесе оюды қамтамасыз етеді, ақаулардың пайда болу мүмкіндігін азайтады және осы процестер кезінде пайда болған қабықтардың немесе қабаттардың консистенциясын жақсартады.
Semicorex металликалық душ басының ерекше ерекшеліктерінің бірі оның жоғары дәлдігі мен тазалығы болып табылады. Құрылғы газ ағынының бүкіл жер бетінде мұқият басқарылуын қамтамасыз ететін ең жоғары дәлдік стандарттарына сай жасалған. Бұл газды дәлдікпен бөлу жартылай өткізгіштердің өндірісін жақсартуға тікелей ықпал етеді, мұнда ең кішкентай сәйкессіздіктің өзі елеулі ақауларға әкелуі мүмкін. Сонымен қатар, душ басы өте жоғары тазалық стандарттарымен жасалған, бұл өте сезімтал жартылай өткізгіштерді өндіру орталарында ластануды болдырмау үшін өте маңызды.
Металл душ басы сонымен қатар оның көп қабатты, композициялық бетті өңдеуімен сипатталады. Semicorex өнімнің функционалдығы мен беріктігін арттыру үшін құммен тазалау, анодтау, никельді щеткамен тазарту және электрмен жылтыратуды қоса алғанда, бетті өңдеудің бірқатар әдістерін қолданады. Бұл өңдеулердің әрқайсысы белгілі бір мақсатқа қызмет етеді: мысалы, құммен тегістеу біркелкі құрылымды қамтамасыз етеді, ал анодтау коррозияға қосымша төзімділікті қамтамасыз етеді. Никельді щеткамен тазалау химиялық реакциялардан қорғаныстың тағы бір қабатын қосады, ал электрлік жылтырату операциялар кезінде бөлшектердің пайда болу қаупін азайтатын тегіс, таза бетті қамтамасыз етеді. Бұл аралас өңдеулер тозуға, коррозияға және ластануға ерекше төзімді душ басына әкеледі, бұл ұзағырақ пайдалану мерзімі мен сенімді өнімділікті қамтамасыз етеді.
Semicorex әрбір жартылай өткізгіш процестің нақты талаптарын ескере отырып, душ кабинасында қолданылатын шикізатты таңдауды реттейді. Күш, коррозияға төзімділік және жоғары температура тұрақтылығы сияқты талап етілетін өнімділікке байланысты душ кабинасының әртүрлі жұмыс жағдайларында оңтайлы жұмыс істеуін қамтамасыз ету үшін әртүрлі қорытпалар немесе металдар таңдалады. Жоғары температуралы орталарда, мысалы, уақыт өте келе деформацияны немесе деградацияны болдырмау үшін жоғары термиялық тұрақтылығы бар материалдар таңдалады, бұл бүкіл процесс бойы газдың таралуы дәл сақталуын қамтамасыз етеді.
Қорытындылай келе, Semicorex металл душ басы - жартылай өткізгіш өндірісінде жоғары дәлдікті, тазалықты және ұзақ мерзімділікті қамтамасыз ету үшін жасалған жетілдірілген газ тарату құрылғысы. Оның қолданбалары PVD, CVD, PECVD, EPI және сызу сияқты негізгі процестерді қамтиды, мұнда ол біркелкі газ ағынын және оңтайлы процестің тиімділігін қамтамасыз етуде шешуші рөл атқарады. Өнімнің көп қабатты беттік өңдеулері және реттелетін материал таңдауы оны коррозияға жоғары төзімді, жоғары температураға төтеп бере алатын және маңызды өндірістік орталарда ұзақ мерзімді пайдалануды қамтамасыз ету үшін жеткілікті берік етеді. Semicorex металл душ бастиегін өз процестеріне біріктіру арқылы жартылай өткізгіш өндірушілер жоғары өнімділікке, жақсартылған өнім сапасына және жоғары жұмыс тиімділігіне қол жеткізе алады.