Semicorex Semiconductor Quartz Bell Jar - жоғары таза кварц материалынан жасалған арнайы ыдыс. Оның дизайны тазалық пен тазалық ең маңызды болып табылатын жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінің қатаң талаптарына сай жасалған. Semicorex сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуге ұмтылады, біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктесіңіз болуды асыға күтеміз.
Semicorex жартылай өткізгіш кварц қоңырау банкасы әдетте синтетикалық балқытылған кварцтан жасалады, бұл материал өзінің ерекше тазалығымен, жоғары температураға төзімділігімен және төмен термиялық кеңею қасиеттерімен танымал. Бұл камераның жартылай өткізгішті жасау процесіне ластаушы заттарды немесе қоспаларды енгізбеуін қамтамасыз етеді.
Жартылай өткізгішті кварцты құмыра әдетте цилиндрлік немесе күмбез тәрізді, жартылай өткізгіш пластиналарды немесе астарларды орналастыру үшін тегіс немесе сәл қисық негізі бар. Ол өңдеу кезінде камераның ішіндегі вакуумды немесе басқарылатын атмосфераны ұстап тұру үшін фланец немесе сақиналы тығыздағыш сияқты дәлдікпен жасалған, герметикалық тығыздау механизмін ұсынады.
Жартылай өткізгіш кварц қоңырау банкасы операторларға камераның ішіндегі процестерді дәлдікке нұқсан келтірмей немесе кедергі келтірместен визуалды бақылауға мүмкіндік беретін тамаша оптикалық айқындықты ұсынады. Кварц жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде жиі қолданылатын қышқылдардың, негіздердің және еріткіштердің көпшілігінің химиялық шабуылына өте төзімді. Бұл камераның тұтастығын қамтамасыз етеді және субстраттардың ластануын болдырмайды.
Кварцтың жоғары балқу температурасы мен термиялық тұрақтылығы бар, бұл жартылай өткізгіш кварц қоңыраулы банкасына деформациясыз немесе деградациясыз тұндыру немесе күйдіру процестері кезінде кездесетін жоғары температураға төтеп беруге мүмкіндік береді.
Қолданбалар:
Тұндыру: Жартылай өткізгіш кварцты банкалар материалдардың жұқа қабықшаларын дәлдікпен және біркелкі жартылай өткізгіш субстраттарға қою үшін химиялық бу тұндыру (CVD), физикалық бу тұндыру (PVD) және атомдық қабат тұндыру (ALD) сияқты әртүрлі тұндыру әдістерінде қолданылады.
Эттинг: Олар жартылай өткізгіш пластинкалардан материалды іріктеп алып тастау үшін, жоғары дәлдікпен және қайталанатын күрделі үлгілер мен құрылымдарды жасау үшін плазмалық ою процестерінде қолданылады.
Күйдіру: Қоңыраулы банкалар кристалдануды, қоспаны белсендіруді және тұндырылған пленкаларда кернеуді жеңілдетуді жеңілдететін жартылай өткізгіш пластиналарды бақыланатын термиялық өңдеуге ұшырату үшін жасыту процестерінде қолданылады.