15 дюймдік кварц қоңырауы

Semicorex 15 дюймдік кварцты қоңырау банкасы осы қиындықтарға жауап беру үшін әзірленген, бұл ортадан үлкенге дейінгі сериялы өңдеуге арналған жоғары өнімді шешімді қамтамасыз етеді, мұнда термиялық біркелкілік пен материал тазалығы өнімділікті арттыру үшін маңызды. Жартылай өткізгіш және жұқа пленка өнеркәсібінде процесстің тұтастығы және пластмасса өлшемдері артады. таза, тұрақты және химиялық инертті ортаға қойылатын талап келіспейді.

1. Материалтану: балқытылған кремнийдің тазалығы

Біздің қоңырау құмырасының негізі жоғары тазалықтабалқытылған кремний диоксиді (кварц). Стандартты шыныдан айырмашылығы, кварц толығымен дерлік SiO2-ден тұрады, ол жартылай өткізгіштерді өндіру үшін өте маңызды бірегей қасиеттерді қамтамасыз етеді:

Өте төмен ластану: Біздің кварц металдық микроэлементтерді (мысалы, Al, Fe, Na және K) миллиардта бір бөлікке (ppb) дейін азайту үшін өңделеді. Бұл құрылғылардың электрлік тұтастығын қамтамасыз ете отырып, жоғары температуралық циклдар кезінде пластинаға қоспалардың таралуын болдырмайды.

Жоғары термиялық соққыға төзімділік: кварц нөлге жуық жылулық кеңею коэффициентіне (CTE) ие. Бұл 15 дюймдік кварц қоңырау банкасына сыну немесе құрылымдық шаршау қаупінсіз жылдам температураның көтерілуіне және сөндірілуіне төтеп беруге мүмкіндік береді - жоғары өнімді реакторлар үшін маңызды талап.

Тамаша химиялық инерттілік: кварц қышқылдардың көпшілігіне (фторлы сутек қышқылын қоспағанда) және коррозияға ұшырайтын технологиялық газдарға жоғары төзімді, бұл камераның агрессивті өңдеу немесе тұндыру циклдері кезінде тозбауын немесе газдың шығуын қамтамасыз етеді.

2. Дәлдік инженерия және оптикалық айқындық

15 дюймдік кварцты қоңыраулы банка вафельді пакеттік өңдеу мақсатында максималды көлемді және газ ағынының оңтайлы динамикасын қамтамасыз етеді. Құмырада газға кіруді қамтамасыз ету немесе жоғарыдағы суретте көрсетілген банкадан вакуум арқылы газды алуға көмектесу үшін оңтайлы түрде жасалған тік мұржа (мойын деп те аталады) бар.

Оптикалық мөлдірлік - берудің жоғары деңгейікварц материалыспектрдің ультракүлгін, көрінетін және инфрақызыл аймақтарында толқын ұзындығын шығару нақты уақытта өңдеуге, сондай-ақ жылдам термиялық өңдеуге (RTP) арналған сыртқы лампа қыздырғыштарын пайдалануға мүмкіндік береді.

Күшейтілген нығыздау беттері - Құмыраның мойнында реактордың негізгі тақтасы мен құмыраның арасында герметикалық (ауамен жабылған) және вакуумды өткізбейтін интерфейсті қамтамасыз ететін арнайы әзірленген мөлдір емес ақ тығыздағыш бар (сонымен бірге жердегі қосылыс деп аталады).

Күйзелісті жеңілдету үшін күйдіру - Барлық 15 дюймдік кварцты банка құмыраны үрлеу немесе пішіндеу механикалық процесі арқылы құмыраға орналастырылған ішкі механикалық кернеуді жеңілдету үшін қатаң термиялық жасыту процесінен өтеді, сондықтан вакуумдық жүктеме астында құмыраның өздігінен істен шығу мүмкіндігін айтарлықтай азайтады.

3. Жартылай өткізгіш зауытындағы маңызды қолданбалар

Біздің 15 дюймдік кварц қоңырау банкасы келесі жоғары құнды процестерге біріктіру үшін арнайы жасалған:

Silicon Epitaxy: жоғары сапалы бір кристалды кремний қабаттарын өсіру үшін мөлдір, реактивті емес ыдысты қамтамасыз ету.

Plasma Enhanced CVD (PECVD): жоғары диэлектрлік беріктікті сақтай отырып, коррозиялық плазмалық ортаға төтеп береді.

Диффузия және тотығу: қақпа оксидтерін қалыптастыру және қоспаны енгізу үшін таза, жоғары қызу камерасы ретінде қызмет етеді.

Оптикалық талшықты дайындау: арнайы шыны өндірісінде кремний диоксиді қабаттарын жоғары тазалықпен тұндыру үшін өте қолайлы.

Semicorex-те біз әрбір қоңырау банкасын дәл зертханалық жабдықтың бір бөлігі ретінде өңдейміз. Біздің процеске мыналар кіреді: тексерілген электронды бағамен қатаң материалды алукварцқұймалар; дәстүрлі шыны үрлеу дағдыларын CNC басқарылатын тегістеу және жылтыратумен біріктіретін жетілдірілген өндіріс; және қалдық кернеуді анықтау үшін поляризацияланған жарықты пайдаланып мұқият тексеру және дәл өлшемді тексерулер үшін лазерлік интерферометрия.