RTA SiC вафельді тасымалдаушылар

Semicorex RTA SiC пластиналы тасушылар жартылай өткізгіш өндірісінде жылдам термиялық күйдіру процесі үшін арнайы әзірленген пластинаны тасымалдауға арналған маңызды құрал болып табылады. Semicorex RTA SiC пластиналар тасымалдағыштары жартылай өткізгішті өндіру өнімділігін жақсартуға және жартылай өткізгіш құрылғының өнімділігін арттыруға көмектесетін жылдам термиялық күйдіру үдерісі үшін оңтайлы шешімдер болып табылады.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жылдам термиялық күйдіру - жартылай өткізгіштерді өндіруде кеңінен қолданылатын термиялық өңдеу әдісі. Жылу көзі ретінде галогендік инфрақызыл шамдарды пайдалана отырып, ол пластиналарды немесе жартылай өткізгіш материалдарды 300 ℃ және 1200 ℃ арасындағы температураға дейін өте жылдам қыздыру жылдамдығымен жылдам қыздырады, содан кейін жылдам салқындатады. Жылдам термиялық жасыту процесі пластиналар мен жартылай өткізгіш материалдардың ішіндегі қалдық кернеу мен ақауларды жояды, материалдың сапасы мен өнімділігін арттырады. RTA SiC пластинкалы тасымалдағыштары RTA процесінде кеңінен қолданылатын, пластинаны және жартылай өткізгіш материалдарды жұмыс кезінде тұрақты түрде қолдайтын және тұрақты термиялық өңдеу әсерін қамтамасыз ететін алмастырылмайтын тасымалдау компоненті болып табылады.

Semicorex RTA SiC пластинкаларының артықшылығы

1. Жоғары механикалық беріктік пен қаттылық

Semicorex RTA SiC пластинкалары тамаша механикалық беріктік пен қаттылық береді және өлшемді тұрақты және берік болып қала отырып, қатал RTA жағдайында әртүрлі механикалық кернеулерге төтеп бере алады. Тамаша қаттылығымен RTA SiC пластинкаларының беті сызаттарға бейім емес, бұл тасымалдаушы сызаттардан болатын пластинаның зақымдалуын тиімді болдырмайтын тегіс, тегіс тірек бетін қамтамасыз етеді.

2. Ерекше жылу өткізгіштік

Semicorex RTA SiC пластинкалары жылуды тиімді таратуға және өткізуге мүмкіндік беретін ерекше жылу өткізгіштікке ие. Олар жылдам термиялық өңдеу кезінде температураны дәл бақылауды қамтамасыз ете алады, бұл пластинаның термиялық зақымдану қаупін айтарлықтай төмендетеді және күйдіру процесінің біркелкілігі мен дәйектілігін жақсартады.

3. Керемет термиялық тұрақтылық

Кремний карбидінің балқу температурасы шамамен 2700°C және 1350–1600°C үздіксіз жұмыс температурасында тамаша тұрақтылықты сақтайды. Бұл Semicorex бередіRTA SiC пластинкаларыжоғары температурадағы RTA жұмыс жағдайлары үшін жоғары термиялық тұрақтылық. Сонымен қатар, төмен температуралық кеңею коэффициентімен Semicorex RTA SiC пластинкалары жылдам қыздыру және салқындату циклдері кезінде біркелкі емес термиялық кеңею мен жиырылуынан туындаған крекингті немесе зақымдануды болдырмайды.

4. Ластану кезіндегі тамаша өнімділік

Мұқият таңдалған жоғары тазалықтан жасалғанкремний карбиді, Semicorex RTA SiC вафельді тасымалдағыштары аз қоспамен ерекшеленеді. Керемет химиялық төзімділігінің арқасында Semicorex RTA SiC пластинкалы тасымалдағыштары жылдам термиялық күйдіру кезінде технологиялық газдардың коррозиясын болдырмайды, осылайша реактивтер тудыратын пластинаның ластануын азайтады және жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінің қатаң тазалық талаптарына жауап береді.