Robot End Effektor

Semicorex – кремний карбидімен қапталған графит, кремний карбидімен қапталған графит, кремний карбиді керамика, жартылай өткізгіш өндірісінің MOCVP салаларына назар аударатын, дәл өңделген жоғары тазалықтағы графиттің жетекші тәуелсіз өндірушісі. Біздің Robot End Effector бағаның жақсы артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Robot End Effector — жартылай өткізгішті пластиналарды пластинаны өңдеу жабдығы мен тасымалдаушылардағы позициялар арасында жылжытатын роботтың қолы. Robot End Effector өлшемді дәл және термиялық тұрақты болуы керек, сонымен бірге пластиналарды құрылғыларды зақымдамай немесе бөлшектердің ластануын тудырмай қауіпсіз өңдеу үшін тегіс, тозуға төзімді беті болуы керек. Біздің жоғары таза кремний карбиді (SiC) жабыны Robot End Effector жоғары ыстыққа төзімділікті, эпи қабатының тұрақты қалыңдығы мен тұрақтылығы үшін біркелкі термиялық біркелкілігін және ұзақ химиялық төзімділікті қамтамасыз етеді.

Robot End Effector параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300