Кеуекті SiC вакуумдық патрондар

Semicorex кеуекті SiCвакуумдық патрондарвафельді жұқарту, текшелерді кесу, ұнтақтау, жылтырату, фотолитография, оюлау сияқты жартылай өткізгіштерді өндірудің озық процестерінде кеңінен қолдануға болатын таптырмас компоненттер болып табылады. Олардың адсорбциялық платформасы біркелкі бөлінген көптеген микрон масштабты кеуектері бар кеуекті SiC керамикалық пластинадан жасалған. Кеуектің тұрақты диаметрі және саңылаулардың ерекше жылдамдығымен Semicorex кеуекті SiC вакуумдық патрондары вакуумды эвакуациялау үшін тегіс газ жолын қамтамасыз етеді. Жұмыс кезінде патрон мен пластинаның арасында тұрақты және біркелкі теріс қысым пайда болады, бұл жоғары тиімді вакуумды қысуға және жартылай өткізгіш пластиналарды босатуға мүмкіндік береді.

Semicorex кеуекті SiC вакуумдық патрондарының артықшылықтары 

1. Өңдеудің ерекше дәлдігі

Жетілдірілген жартылай өткізгіш өндірісінде өңделген жартылай өткізгіш пластиналар өте жұқа, сондықтан тіпті шамалы иілу, діріл немесе біркелкі емес жергілікті кернеу пластинаның сынуына, майысқандығына және литография сияқты маңызды процестерде дәлдіктің төмендеуіне әкелуі мүмкін. Semicorexкеуекті SiCвакуумдық патрондар жоғары дәлдіктегі тегістеу және жылтырату арқылы өңделеді, Ra ＜ 0,1 мкм тамаша бетінің кедір-бұдырлығына қол жеткізеді. Бұл Semicorex кеуекті SiC вакуумдық патрондарына жоғары дәлдіктегі жартылай өткізгіштерді өндіру үшін оңтайландырылған жұмыс бетін қамтамасыз етуге мүмкіндік береді.

2. Жоғары тазалық және жоғары коррозияға төзімділік

Жартылай өткізгіштердің тазалығының қатаң стандарттарын толық қанағаттандыру үшін Semicorex жоғары температурада агломерациялау арқылы жоғары таза кремний карбиді шикізаты бар кеуекті SiC вакуумдық патрондарын шығарады. Бұл патрондардың бөлшектердің төгілуінен және тасымалданатын металл ластануынан таза болуын қамтамасыз етеді. SiC тамаша химиялық тұрақтылығын пайдалана отырып, Semicorex кеуекті SiC вакуумдық патрондары қатал коррозия орталарына төтеп бере алады және қосымша қосымша өнімдер шығармайды, бұл оларды жоғары сапалы таза жартылай өткізгіштерді өндіру процестеріне өте қолайлы етеді.

3. Тамаша төзімділік және ұзақ мерзімді тұрақтылық

Өндірістік желілерде қолданылатын вакуумдық патрондар мыңдаған адсорбция және босату циклдарына, сондай-ақ ұзақ мерзімді температура ауытқуларына төтеп беруі керек. Бұл вакуумдық патрондардың материал өнімділігіне өте жоғары талаптар қояды. Semicorex кеуекті SiC вакуумдық патрондары тұрақты термиялық кеңеюі бар тамаша материал қаттылығы мен тозуға төзімділігімен ерекшеленеді. Олар жоғары температура жағдайында жылжу немесе өнімділіктің төмендеуін көрсетпейді, бұл олардың қызмет ету мерзімін едәуір ұзартады және құрамдас бөліктерге техникалық қызмет көрсету мен ауыстыру жиілігін азайтады.