Кеуекті Sic вакуумы

Subicorex кеуекті Sic вакуумдық шұңқырлар жартылай өткізгіштерді өңдеудің барлық кезеңдерінде вафлиді дәл, тұрақты орналастыруға қол жеткізуге бағытталған шешімдерді білдіреді. Бұл вакуумдық Чак вафлиді өңдеуге және субстрат туралауға арналған қосымшаларды жақсы ұстайды, осылайша сенімділік пен өнімділікті арттырады. Негізгі материал таңдау-sus430, алюминий қорытпасы 6061, тығыз алюминий-керамика, гранит және кремний карбиді керамикалық ұсыныңыз, термиялық өнімділікке, механикалық қасиеттерге немесе салмаққа сәйкес оңтайлы материалды таңдауға икемділік.

Жақсы материалдық таңдау: кеуекті Sic вакуумдық шұңқырының түбін әр түрлі қажеттіліктерге сай өзгертуге болады:

• Sus430: ортақ пайдалану үшін тот басталған арзан опция.
• Алюминий қорытпасы 6061: күш, жеңіл салмақ және үлкен жетістіктер, бұл оны кез-келген вафлимен өңдеуге мүмкіндік береді.
• Тығыз алюминий керамика (99% Al2o3): жоғары температуралы немесе дәлдікке сәйкес келетін керемет жылу тұрақтылық пен жоғары қаттылық береді.
• Гранитті: ерекше жазықтылық пен тұрақтылығымен танымал, гранит төмен термиялық кеңеюді қамтамасыз етеді, бұл жоғары дәлдікті қажет ететін қосымшалар үшін өте қолайлы.
• Силикон Карбидті керамика: жоғары жылу өткізгіштікімен, химиялық тұрақтылығы мен беріктігімен танымал, SIC өте жақсы жағдай үшін өте қолайлы жағдайлар үшін өте қолайлы.

Жоғары дәлдік: кеуекті Sic вакуумдық шұңқырлар жоғары тегістігін қамтамасыз етеді, олар қолданылған материал негізінде әр түрлі болады. Ең жоғары деңгейге дейін материалдық рейтинг:

Гранит және кремний карбиді керамикалық: Екі материалдар да жоғары дәлдікті жазықтығын ұсынады, тіпті қажет, көптеген өңдеу орталарында да вафли тұрақтылығын қамтамасыз етеді.

Төздер алюмина (99% Al2O3): гранитпен және SIC-пен салыстырғанда сәл тегіс, бірақ жалпы жартылай өткізгіш қосымшалардың жақсы дәлдігін ұсынады.

Алюминий қорытпасы 6061 және SUS430: сәл төмен тегіс, бірақ аз талап етілетін қосымшаларда вафлиді өңдеу үшін өте сенімді.

Нақты қажеттіліктерге арналған салмақ өзгереді: кеуекті SIC вакуумдық шұңқырлар пайдаланушыларға салмақ талаптарына негізделген әртүрлі материалдар нұсқаларын таңдауға мүмкіндік береді:

Алюминий қорытпасы 6061: жеңіл материалдық таңдау, жеңіл өңдеу және тасымалдауды ұсынатын жеңіл материалдық таңдау.

Гранитті: жоғары тұрақтылықты қамтамасыз ететін және өңдеу кезінде тербелістерді азайтатын ауыр негіз.

Кремний карбиді керамикасы: орташа салмақ бар, беріктік пен жылу өткізгіштік тепе-теңдікті ұсынады.

Тығыз алюминий керамикасы: ең ауыр нұсқа, тұрақтылық пен жоғары жылу кедергісі басымдыққа ие.

Жоғары беріктігі мен өнімділігі: Кеуекті Sic вакуумдық шұңқырлары температуралық өзгерістер мен жартылай өткізгіштерді өңдеумен байланысты ұзақ уақытқа созылған жұмыс үшін инженерленген. Кремний карбиді керамикалық нұсқасы, әсіресе, жоғары температуралы және химиялық агрессивті орталар үшін, оның жылу кеңеюі мен коррозиясына ерекше төзімділігі арқасында өте жоғары және химиялық агрессивті орталар үшін пайдалы.

Шығындар-тиімді шешімдер: бірнеше материалдық нұсқалармен, бірнеше материалдық нұсқалармен кеуекті Sic вакуумдық Chuck әр түрлі бюджеттерге және қолдануға болатын талаптарға сай келетін үнемді шешім ұсынады. Жалпы өтініштер үшін алюминий қорытпасы және SUS430-ы тиімді, ал әлі де қанағаттанарлық нәтиже беруде. Қосымша талап етілетін орталар үшін гранит немесе SIC керамикалық опциялары күшейтілген және беріктігін қамтамасыз етеді.

Өтініштер:

Кеуекті Sic вакуумдық шұңқыры, ең алдымен, жартылай өткізгіш өнеркәсіпте вафлимен, соның ішінде процестерде қолданылады, мысалы:

• Вафлиді кесу және кесу
• Фотоэлектрлік өндіріс
• MOCVD және CVD эпитакси өсуінің өсуі
• Ионды имплантация
• Тотығу және диффузиялық процестер

Subicorex-тің кеуекті Sic вакуумдық шұңқыры оның дәлдігіне, әмбебаптығына және беріктігіне арналған. Жалпы өңдеуге арналған жеңіл шешімдер қажет пе, әлде жоғары деңгейдегі жартылай өткізгіш процестер үшін кеңейтілген материалдар қажет пе, біздің өнім сіздің қажеттіліктеріңізге сәйкес келетін көптеген нұсқаларды ұсынады. Жоғары сапа стандарттарымен дайындалған, біздің вакуумдық Chucks стандартты және мамандандырылған процестерде дәйекті нәтижелерге қол жеткізе отырып, әр түрлі қосымшалар үшін сенімді және тиімді жұмыс істеуді қамтамасыз етеді.

Вафлидің тұрақтылығы және нақты өңдеуі өте маңызды салалар үшін өте маңызды, кеуекті Sic вакуумдық Чак тамаша шешім ұсынады. Оның материалдарын, жоғары дәлдікті және жоғары беріктігімен, бұл жартылай өткізгіш процестердің кең таңдауы үшін керемет таңдау.