Кеуекті сик

Subicorex кеуекті SIC CHIC - бұл қауіпсіздік, тиімді, субстрат, мысалы, тексеру, тестілеу және литография сияқты өтімділікке арналған вафли субстраларын тиімді пайдалану үшін дәлдікпен жинақталған керамикалық бөлігі. Чак микро-кеуекті кремний карбиді керамикалық (SIC) шығарылады. Жартылай өткізгіштік өндіріс орталықтарында Механикалық беріктік, химиялық тұрақтылық және жылу тұрақтылық қасиеттері бар.

Кеуекті SIC CHUCK-тің маңызды сипаттамасы - бұл оның бірегей микроқұрылымы, ол 35% -40% кеуектілік көрсетеді. Тығыз жобаның кеуектілігімен, артық дизайн вакуумдық соруды шұңқырға біркелкі тастауға мүмкіндік береді, бұл кремний немесе ган және басқа құрама жартылай өткізгіштер үшін тұрақты тұрақты және байланыссыз қолдауға мүмкіндік береді.  Вакуумдық сору режимі бөлшектердің ластануынан және механикалық зақымданбайды, осылайша процесс кезінде вафлидің тұтастығын сақтайды.

Чактың керамикалық денесі ең алдымен жоғары тазалық, мысалы, жоғары тазалық, мысалы, алюминий (AL2O3), мысалы, алюминий (AL2O3), мысалы, қолдануға байланысты функционалды қабаттар үшін пайдаланылуы мүмкін. Материалды зерттеу және әзірлеу лотерея мөлшері мен таралуы вафли өлшемдеріне және технологиялық жағдайларға байланысты ауа ағынын және ұстап тұруды басқаруға мүмкіндік береді. Егер сұйылтқыш вафлиіндегі вакуумды басқару маңызды болса, онда кедей тері мөлшері қосылады. Қажет болған жағдайда жылдам ағындар үшін, үлкенірек тері тесігі қолданылады.

Кеуекті Sic Chucks түбірлік өлшемдер, керамикалық композициялар және атыс жағдайының нәтижесінде түс өзгереді. SIC Chucks қара немесе қою сұр түске боялады, өйткені кремний карбидінің түсі сұр немесе қара, бірақ үлкен алюминий құрамы бар Чактар ақ түсте ақ түсте түсті. Түстердегі ауытқулар өнімнің жұмысына әсер етпейді және тек клиенттердің нақты қажеттіліктеріне сәйкес келетін нақты қосымшалар үшін жасалған инженерлік сипаттарды ұсынады.

Жоғары вафлиді өңдеу құралдарында, жылу тұрақтылығы және химиялық инерстер - бұл екі маңызды ерекшелік. Кремний карбиді коррозия газдарына және жылу велосипедіне өте жақсы қарсылық береді. Кеуекті SIC CHUCK вакуумдық камераларда және плазмалық этчиздер құралдарында сәтті жұмыс істейді және тез өзгеретін температуралармен жақсы жұмыс істейді. Олардың дыланшақтық тұрақтылығын сақтау қабілеті вафли дәл сол жерде қалады, бірақ дәлдікке қойылатын талаптар төмендетілген болса да, өлшемді тұрақтандырылған процеске байланысты субсаймақтағыштың төмендеуіне байланысты.

Subicorex кеуекті SIC CHUCKS бірыңғай кеуектілік, жоғары икемдік күш және жылу кеңеюін қамтамасыз ететін уәкілетті қалыптастыру және біріктіру процедуралары арқылы жасалады. Әрбір Чакқа сенімді және қайталанатын өнімді қамтамасыз ету үшін тері құрылымы, тегістік және вакуумдық өнімділігі тексеріледі. Сондай-ақ, арнайы дизайндар сонымен қатар арнайы вафли өлшемдері мен жүйелік интеграцияның талаптары, мысалы, артқы жағынан газ ағындарының арналары немесе монтаждау мүмкіндігі.

Қорытындылай келе, кеуекті SIC CHUCK - бұл жоғары сенімділік субстрат қолдау жүйесі, ол дәл вафлиді өңдеуге қойылатын талаптармен бірлесіп жұмыс істеуге мұқият жасалған. Вакуумды ұстап тұру қабілеті жоғары, теңдестірілген тері құрылымы және маңызды материалдық тұрақтылықпен, бұл бүгінгі жартылай өткізгіштік өндіріс желілеріндегі таптырмайтын өнім.