Плазманы өңдеудің фокус сақинасы

Semicorex плазмалық өңдеу фокус сақинасы жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі плазмалық өңдеудің жоғары талаптарын қанағаттандыру үшін арнайы әзірленген. Біздің жетілдірілген, жоғары таза кремний карбидімен қапталған компоненттеріміз төтенше орталарға төтеп беру үшін жасалған және кремний карбиді қабаттары мен эпитаксистік жартылай өткізгіштерді қоса алғанда, әртүрлі қолданбаларда пайдалануға жарамды.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Біздің плазмалық өңдеудің фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатаң химиялық тазалау үшін өте тұрақты, бұл оларды плазмалық тазарту (немесе құрғақ өңдеу) камераларында пайдалану үшін тамаша таңдау жасайды. Вафли жиегінің немесе периметрінің айналасында тегістеу біркелкілігін жақсартуға арналған, біздің фокус сақиналарымыз немесе жиек сақиналарымыз ластануды және жоспардан тыс техникалық қызмет көрсетуді азайту үшін жасалған.

Біздің SiC жабыны - жоғары коррозияға және ыстыққа төзімділік қасиеттеріне, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие тығыз, тозуға төзімді кремний карбиді жабыны. Біз химиялық бу тұндыру (CVD) процесін пайдалана отырып, графитке жұқа қабаттарда SiC жағамыз. Бұл біздің SiC фокус сақиналарының жоғары сапасы мен беріктігіне кепілдік береді, бұл оларды плазмалық өңдеуді өңдеу қажеттіліктері үшін сенімді таңдау етеді.

Плазманы өңдеу фокус сақинасы туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Плазмалық өңдеудің фокус сақинасының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

Плазмалық өңдеудің фокус сақинасының ерекшеліктері

- Қызмет мерзімін ұзарту үшін CVD кремний карбиді жабындары.

- Жоғары өнімді тазартылған қатты көміртектен жасалған жылу оқшаулау.

- Көміртек/көміртекті композитті қыздырғыш және пластина.- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

- Жоғары таза графит және саңылауларға төзімділік және ұзақ қызмет ету үшін SiC жабыны