Плазманы өңдеудің фокус сақинасы

Semicorex плазмалық өңдеу фокус сақинасы жартылай өткізгіш өнеркәсібіндегі плазмалық өңдеудің жоғары талаптарын қанағаттандыру үшін арнайы әзірленген. Біздің жетілдірілген, жоғары таза кремний карбидімен қапталған құрамдас бөліктер төтенше жағдайларға төтеп беру үшін жасалған және кремний карбиді қабаттары мен эпитаксистік жартылай өткізгіштерді қоса алғанда, әртүрлі қолданбаларда пайдалануға жарамды.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Біздің плазмалық өңдеу фокус сақинасы RTA, RTP немесе қатал химиялық тазалау үшін өте тұрақты, бұл оларды плазмалық өңдеу (немесе құрғақ өңдеу) камераларында пайдалану үшін тамаша таңдау жасайды. Вафли жиегінің немесе периметрінің айналасында тегістеу біркелкілігін жақсартуға арналған, біздің фокус сақиналарымыз немесе жиек сақиналары ластануды және жоспардан тыс техникалық қызмет көрсетуді азайту үшін жасалған.

Біздің SiC жабыны - жоғары коррозияға және ыстыққа төзімділік қасиеттеріне, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие тығыз, тозуға төзімді кремний карбиді жабыны. Біз химиялық бу тұндыру (CVD) процесін пайдалана отырып, графитке жұқа қабаттарда SiC жағамыз. Бұл біздің SiC фокус сақиналарының жоғары сапасы мен беріктігіне кепілдік береді, бұл оларды плазмалық өңдеуді өңдеу қажеттіліктері үшін сенімді таңдау етеді.

Плазманы өңдеу фокус сақинасы туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Плазмалық өңдеудің фокус сақинасының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

Плазмалық өңдеудің фокус сақинасының ерекшеліктері

- CVD Silicon Carbide coatings to improve service life.

- Жоғары өнімді тазартылған қатты көміртектен жасалған жылу оқшаулау.

- Көміртек/көміртекті композитті қыздырғыш және пластина. - Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

- Жоғары тазалықтағы графит пен SiC жабыны саңылауларға төзімділік пен ұзағырақ қызмет ету мерзіміне арналған