Кремний нитриді (Si₃N₄) – өзіндік жылу өткізгіштігі шамамен 320 Вт/(м·К), жоғары жылу өткізгіштігі мен тамаша механикалық қасиеттері бар құрылымдық керамикалық материал. Қоршаған орта температурасындағы жоғары тұрақтылығының арқасында Si₃N₄ заманауи жартылай өткізгіш өнеркәсібі үшін кеңінен қабылдан......
Ары қарай оқуЖоғары сапалы жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруде SiO₂ пленкалары әдетте субстрат бетін өңдеу үшін тотығу процестері арқылы қалыптасады және олардың кең таралған қолданбаларына қоспалық тосқауыл қабаттары, беткі оқшаулау қабаттары, қақпа оксидтері қабаттары, өріс оксидтері және құрбандық оксидте......
Ары қарай оқуТехнологияның дамуымен ұялы телефондар, компьютерлер, электр көліктері және роботтар сияқты ақылды өнімдер адам өміріне кіріктірілді. Бұл өнімдерде жартылай өткізгіш микросхемалардың көп саны бар, ал чиптерді дайындау үшін жартылай өткізгіш жабдықтар қажет, мысалы, ою машиналары, литография машинала......
Ары қарай оқуЖоғары кедергісі бар кремний пластиналары (HR-Si), аты айтып тұрғандай, өте жоғары кедергісі бар монокристалды кремний материалы. Жетілдірілген жартылай өткізгіштерді өндіру саласында жоғары жиілікті жоғалту жоғары деңгейлі чиптерді жобалаудағы басты қиындыққа айналды. Өзінің ультра жоғары кедергісі......
Ары қарай оқуФокус сақинасы, сондай-ақ өтемақы сақинасы немесе оқшаулау сақинасы деп аталады, ою жабдығының, әсіресе плазмалық құрғақ өңдеу жабдығының таптырмас құрамдас бөлігі болып табылады. Онсыз заманауи жартылай өткізгіш өндірісіндегі наноөлшемді дәлдікпен өңдеу процестеріне қол жеткізу мүмкін емес еді. Фок......
Ары қарай оқуЖылыту және салқындату профильдерін дәл реттей отырып, жасыту процесі қоспа атомдарын белсендіреді, тордың зақымдалуын қалпына келтіреді, ішкі кернеуді жеңілдетеді және пластинаның электрлік сенімділігін жақсартады. Бұл маңызды өнімділік жақсартулары жоғары қуатты және жоғары интеграциялық сценарийл......
Ары қарай оқу