Жартылай өткізгішті кварц пештерінің түтіктері қалай өндіріледі?

Жартылай өткізгішкварц пештерінің түтіктерідиффузия, тотығу және күйдіру сияқты негізгі жартылай өткізгіштерді өндіру процестерінде кеңінен қолданылатын маңызды компоненттер. Ол ұзақ уақыт бойы жоғары температураға, қарқынды қысымға және жұмыс ортасының қатты коррозиясына ұшыраған кезде де физикалық және химиялық қасиеттерін тұрақты түрде сақтауы керек. Жартылай өткізгішті өндіру процесінде кварц пешінің түтігінің сапасы жартылай өткізгіш құрылғылардың өнімділігі мен өнімділігіне тікелей әсер етеді. Осы себепті кварц пешінің түтіктерін өндіру процесі өте маңызды.

Кварцты пеш құбырларының негізгі өндірістік процестері

1. Шикізатты таңдау

Кварц пешінің түтіктері, ең алдымен, табиғи және синтетикалық түрде қол жетімді жоғары таза кремний диоксидінен жасалған. Жоғары таза шикізат кварц пешінің түтіктерінің тамаша оптикалық, термиялық және химиялық көрсеткіштерін қамтамасыз ету үшін өте маңызды. Әсіресе жартылай өткізгіштер сияқты жоғары дәлдіктегі өрістерде шикізаттағы қоспалардың, әсіресе металл иондарының (мысалы, темір, алюминий, натрий және т.б.) құрамына қойылатын талаптар өте қатал және ppm деңгейінде бақылануы керек.

2. Балқыту және қалыптау

Таңдалғанкварцұнтақ немесе кесек біркелкі балқытылған кварц сұйықтығын қалыптастыру үшін жоғары температуралы пеште 2000 ° C жоғары температурада ерітіледі. Температураны дәл бақылау және белгілі бір атмосфералық орта (мысалы, вакуум немесе инертті газ) тотығу мен ластанудан туындаған ақаулардың алдын алу үшін бұл процесс кезінде өте маңызды. Содан кейін балқытылған кварц сұйықтығы арнайы сызу жабдығы немесе құбыр сызу машиналары сияқты қалыптарды пайдаланып құбырларға үздіксіз қалыптасады.

3. Кесу және соңғы бетті өңдеу

Пішінді кварц түтіктері әдетте алмас кескіштер немесе лазерлік кескіштер сияқты кесу жабдықтары арқылы қажетті ұзындыққа кесіледі. Түтіктің кесілген ұштары әдетте өрескел болады, сондықтан беттің тегістігі мен тегістігін қамтамасыз ету үшін ұсақ тегістеу қажет. Механикалық жылтырату немесе химиялық жылтырату процестері әдетте кесу нәтижесінде пайда болған саңылаулар мен микрожарықтарды жою үшін қолданылады, бұл түтік ұштарын жоғары дәлдіктегі тегістік стандарттарына сәйкес келтіруге және жартылай өткізгіш процестердің вакуумды тығыздау талаптарын қанағаттандыруға мүмкіндік береді.

4. Дәнекерлеу құрастыру

Кесілген кварц түтіктерін тұтынушының жеке сызбаларына сәйкестендіру үшін құрастыру үшін пештің өзек түтіктерімен, фланецтерімен және шығару құбырларымен жоғары температурада дәнекерлеу қажет. Дәнекерлеуді құрастырғаннан кейін кварц түтігінің ақ оксидті қабатын жоғары температурада жылтырату арқылы алып тастау керек. Бұл қабат кварц түтігі жоғары температурада балқытылғаннан кейін салқындату процесінде пайда болады. Өздігінен зиянсыз болғанымен, ол кварц өнімінің жарық өткізгіштігіне, тегістігіне және тегістігіне әсер етеді. Жоғары температурада жылтырату оксид қабатын тиімді түрде жоя алады, нәтижесінде түтіктер мөлдір және таза болады.

5. Күйдіретін өңдеу

Ішкі кернеу кварц құбырларында пішіндеу, кесу, дәнекерлеу және жылтырату процестерінен кейін пайда болады, бұл олардың механикалық беріктігі мен термиялық тұрақтылығына әсер етуі мүмкін. Осылайша, барлық жоғары температурада жасалған кварц бөлшектері мұндай ішкі кернеуді жою үшін термиялық өңдеуден және күйдіруден өтуі керек.

6. Сапаны тексеру

Кварцты пеш түтіктерін өндірудің бүкіл процесінде дайын өнімнің стандарттарға сәйкестігіне көз жеткізу үшін қатаң көп аспектілі сынақ қажет. Тексерулерге ішкі кернеу (айқын кернеу сызықтары үшін поляризацияланған жарықпен тексеріледі), өлшемдік дәлдік (сыртқы диаметрге, қабырға қалыңдығына және ұзындығына төзімділікті бақылау сияқты), бет сапасы (кедір-бұдыр, ақаулардың болуы және т.б.), механикалық қасиеттер (беріктік, қаттылық және т.б.) және тазалық (қоспалар мен көпіршіктерден бос ішкі қабырға).