Кеуекті глиноземді вакуумдық патрон

Вакуумдық патрон вакуумдық жабдыққа қосылатын түтік арқылы қосылады. Вакуумдық патрон пластинка/жұқа үлдір материал сияқты дайындамаға тиген кезде вакуумдық жабдық жұмыс істей бастайды, бұл вакуумдық патрон ішінде теріс қысым жасайды. Атмосфералық қысымда дайындама вакуумдық патронға мықтап жабысып, өңдеуге мүмкіндік береді. Өңдеу аяқталғаннан кейін вакуумдық жабдық жұмысын тоқтатады және вакуумдық патронды газбен баяу толтырады, дайындаманы патроннан автоматты түрде ажыратады. Бұл дайындаманы қысу, өңдеу және өңдеуді аяқтайды.

Жартылай өткізгішті фотолитографияның негізгі мақсаты нанометр деңгейіндегі дәлдікпен вафлиге миллиардтаған транзисторлық схема үлгілерін «басып шығару» болып табылады. «Фотолитографияның» мәні электр тізбегінде химиялық реакция тудыратын, жоғары фотосезімтал фоторезистті сәулелендіру үшін жарық көзін пайдалану болып табылады. Дегенмен, жарық көзі пластинаны сәулелендіргенде, ол міндетті түрде вафельді тасымалдаушы қызметін атқаратын электростатикалық патронға да жарқырайды. Алынған шағылысқан қайталама жарық фотолитография процесіне кедергі келтіріп, күтпеген жерлерде экспозицияны тудыруы және схеманы зақымдауы мүмкін. Сондықтан, вакуумдық патронға арналған қара бет фотолитография жүйесінің дәлдік талаптарын қамтамасыз ете отырып, шағылуды азайтады. Осы мүмкіндікке сүйене отырып, қара глиноземді электростатикалық патрондарда ғана емес, сонымен қатар «жарықты басатын» сценарийлерде де кеңінен қолдануға болады. AI дәуірінің пайда болуы оптикалық байланыс қолданбаларында айтарлықтай дамуға мүмкіндік берді және қара алюминий тотығы субстраттары оптоэлектрондық құрылғылар мен жарық шығаратын элементтердің қаптамасында жиі кездеседі.

Қара алюминий тотығы керамиканегізінен Al2O3-тен жасалған, оған бояғыштар және агломерациялық көмекші заттар ретінде өтпелі металл оксидтері қосылған, белгілі бір температурада агломерацияланған. Бояғыш керамиканың осы түрінің шешуші құрамдас бөлігі болып табылады, оның соңғы түсін анықтайды. Вакуумдық патрондар үшін бояғыштарды таңдаған кезде вакуумдық патронның түс дәрежесін, механикалық беріктігін, кеуектілігін және кеуектілігін қамтамасыз ету қажет.

Қазіргі уақытта ел ішінде және халықаралық деңгейде бояғыштар ретінде жиі қолданылатын өтпелі металл оксидтеріне Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 және MnO2 жатады, Fe2O3, CoO, NiO және MnO2 ең көп таралған. Глинозем жоғары температурада аз ұшқыш болғандықтан, өтпелі металл оксидтері керісінше, олардың ұшқыштығы температураға қарай артады. Бұл оксидтер жоғары температурада агломерациялау кезінде шпинель тәрізді қосылыстар түзеді, бұл олардың ұшқыштығын төмендетеді. Сондықтан өтпелі металдардың оксидтерінің ұшпалануын басу үшін төмен температураларда шпинель типті қосылыстарға біріктіру мүмкіндігін беретін тиісті технологиялық жағдайларды таңдау керек.

Semicorex кеденді ұсынадыкеуекті керамикалық вакуумдық патрон. Егер сізде қандай да бір сұрақтар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com