Диффузиялық пеш - жартылай өткізгіш пластинкаларға басқарылатын жолмен қоспаларды енгізу үшін қолданылатын арнайы жабдық. Қоспалар деп аталатын бұл қоспалар жартылай өткізгіштердің электрлік қасиеттерін өзгертіп, электронды компоненттердің әртүрлі түрлерін жасауға мүмкіндік береді. Бұл басқарылатын ......
Ары қарай оқуЭпитаксияның екі түрі бар: біртекті және гетерогенді. Әртүрлі қолданбаларға арналған ерекше кедергісі және басқа параметрлері бар SiC құрылғыларын өндіру үшін, субстрат өндірісті бастамас бұрын эпитаксияның шарттарына сай болуы керек. Эпитаксияның сапасы құрылғының жұмысына әсер етеді.
Ары қарай оқу