Электростатикалық патронның (ESC) құрылымы

АнЭлектростатикалық патрон (ESC)жартылай өткізгіш пластиналарды ою, тұндыру немесе жылтырату сияқты процестер кезінде орнында ұстау үшін қолданылатын құрылғы. Ол вафлиді патронның бетінде сенімді түрде тарту және ұстау үшін электростатикалық өрісті генерациялау арқылы жұмыс істейді, бұл пластинаны өңдеу кезінде тұрақтылық пен дәл туралауды қамтамасыз етеді. ESC процесс дәлдігін және пластинаны өңдеу тиімділігін арттыру үшін жартылай өткізгіштер өндірісінде кеңінен қолданылады.

Конвенцияның нақты бейнесіэлектростатикалық патрон (ESC)суретте бейнеленген. Модельдер арасындағы негізгі айырмашылық электростатикалық патронның бетіндегі оқшаулағыш қабат материалында жатыр. Суретте қара түс алюминий нитриді, ал ақ түс алюминий тотығын білдіреді. құрылымыэлектростатикалық патронбірнеше бөліктерден тұрады:

1. **Оқшаулағыш қабат**: Бұл қабат тамаша механикалық беріктікке, жоғары температураға төзімділікке және жақсы жылу өткізгіштікке байланысты әдетте алюминий нитридінен немесе алюминий тотығы керамикасынан жасалған пластинкамен байланыста болады.

2. **Эжектор істікшесі және газ тесігі**: Эжектор істікшесі пластинаны тасымалдауға арналған. Вафли өңдеу камерасына кірген кезде, эжектор түйреуіш оны қолдау үшін көтеріледі, содан кейін пластинаны электростатикалық патронның бетіне орналастыру үшін төмендейді. Эжектор істікшесі әдетте қуыс құрылымға ие, бұл вафельді салқындату үшін гелий газын енгізуге мүмкіндік береді.

3. **Back He Flow Channel**: Бұл компонент жылудың таралуын жақсартады және пластинаның адсорбциясын жеңілдетеді.

4. **Электростатикалық электрод**: Бұл электрод пластинаны орнында ұстау үшін қажетті электростатикалық күшті тудыратын электр өрісін тудырады. Әдетте, электрод жазық болып табылады және оқшаулағыш материалдың ішіне ендірілген немесе оның үстіне қойылады. Кеңінен қолданылатын өткізгіш материалдарға алюминий, мыс және вольфрам жатады.

5. **Айналмалы салқындатқыш су және жылыту электроды**: Бұл элементтер негізінен электростатикалық патронның жалпы температурасын бақылауға жауапты. Жылыту электроды мен айналмалы салқындатқыш су вафли үшін тұрақты температураны сақтау үшін тандемде жұмыс істейді. Айналымдағы салқындатқыш суға ғана сенім арту, өңдеу процесінде пайда болатын жылуды басқару мүмкін еместігіне әкелуі мүмкін, бұл процестің тұрақтылығына нұқсан келтіруі мүмкін.  

Semicorex жоғары сапаны ұсынадыЭлектростатикалық патрон (ESC). Егер сізде қандай да бір сұрақтар болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com