Semicorex монокристалды кремний пластинасы графит эпитаксисі және пластинаны өңдеу процестері үшін тамаша шешім болып табылады. Біздің ультра таза өніміміз аз ластануды және ерекше ұзақ қызмет етуді қамтамасыз етеді, бұл оны көптеген еуропалық және американдық нарықтарда танымал таңдау жасайды. Қытайдағы жартылай өткізгіш пластинаны тасымалдаушылардың жетекші провайдері ретінде біз сіздің ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Біздің монокристалды кремний эпитаксиалды қабылдағышымыз жоғары тазалықтағы SiC қапталған графит өнімі болып табылады, ол жоғары ыстыққа және коррозияға төзімділікке ие. CVD кремний карбидімен қапталған тасымалдаушы жартылай өткізгіш пластиналардағы эпитаксиалды қабатты құрайтын процестерде қолданылады. Ол жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие, бұл жартылай өткізгіштерді тиімді және дәл өндіру процестері үшін өте маңызды.
Біздің монокристалды кремний пластинкасының негізгі ерекшеліктерінің бірі оның тамаша тығыздығы болып табылады. Графит субстраты да, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады. Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың беті өте жоғары тегістікке ие, бұл жоғары сапалы вафли өндірісін қолдау үшін өте маңызды.
Біздің өнімнің тағы бір маңызды ерекшелігі - оның графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайту мүмкіндігі. Бұл жабысу беріктігін тиімді түрде жақсартады, крекинг пен қабаттасуды болдырмайды. Сонымен қатар, графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие, бұл өндіріс процесінде жылудың біркелкі таралуын қамтамасыз етеді.
Біздің монокристалды кремний пластинасы жоғары температурада тотығуға және коррозияға төзімді, бұл оны сенімді және берік өнім етеді. Оның жоғары балқу температурасы жартылай өткізгіштерді тиімді өндіру үшін қажетті жоғары температуралық ортаға төтеп бере алатынын қамтамасыз етеді.
Қорытындылай келе, Semicorex монокристалды кремний пластинасы графит эпитаксисі мен пластинаны өңдеу процестері үшін өте таза, берік және сенімді шешім болып табылады. Оның тамаша тығыздығы, бетінің тегістігі және жылу өткізгіштігі оны жоғары температура мен коррозиялық ортада қолдануға өте ыңғайлы етеді. Біз жоғары сапалы өнімдерді бәсекеге қабілетті бағамен қамтамасыз етуді мақтан тұтамыз және жартылай өткізгіш пластинаны тасымалдаудың барлық қажеттіліктері үшін сізбен серіктес болуды асыға күтеміз.
Монокристалды кремний пластинасының сусцепторының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Монокристалды кремний пластинасының сусцепторының ерекшеліктері
- Қабыршақтануға жол бермеңіз және барлық бетінде жабын болуын қамтамасыз етіңіз
Жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі: 1600°C дейін жоғары температурада тұрақты
Жоғары тазалық: жоғары температурада хлорлау жағдайында CVD химиялық бу тұндыру арқылы жасалған.
Коррозияға төзімділік: жоғары қаттылық, тығыз беті және ұсақ бөлшектер.
Коррозияға төзімділік: қышқыл, сілті, тұз және органикалық реагенттер.
- Ламинарлық газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізіңіз
- Жылу профилінің біркелкілігіне кепілдік
- Кез келген ластануды немесе қоспалардың таралуын болдырмаңыз