Микроорындық Sic Chuck

Subicorex Microsorx Sic Chuck - бұл вакуумдық вафли - вакуумдық вафли, жартылай өткізгішті өндірістік қосымшаларда вафлиді дәл өңдеуге арналған. Ол вафлиді өңдеудің, өткізудің, өткізудің және тасымалдаудың маңызды бөлігі ретінде әрекет етеді, оның ішінде тазалау, игеру, тұндыру және литография кіреді. Бұл вафли Чак кешенді операциялар кезінде вафли қауіпсіз өткізілетіндігімен өте жақсы ұстау мен тұрақтылықты қамтамасыз етеді.

Subicorex микропоралы SIC CHUCK-де бетінің мөлдір құрылымы бар; Бұл кремний карбидінен (SIC) жоғары сапалы және керемет жылу тұрақтылығынан, химиялық тұрақтылықты және ұзақ мерзімді беріктікке кепілдік береді. Бұл бүкіл вафли бетіне біркелкі сору күшін, вафлиге зақым келтіреді, сонымен бірге өңдеу циклінде сенімді өңдеуді қамтамасыз етеді. Ұсынылған негізгі материалдарды «Sus430 тот баспайтын болат, алюминий қорытпасы 6061, тығыз алюминий керамика, гранит және кремний карбид» және кремний карбид.

Ерекшеліктер мен артықшылықтар

Микроорын бетінің құрылымы: SIC CHACK вакуумды сіңіру тиімділігін арттыру. Бұл тіпті нәзік вафлидің бұрмалануы немесе зақымдалмай дұрыс ұсталғанын қамтамасыз етеді.

Материалдық әлдеқайда әмбебаптық: Чак базасының материалы нақты процестің қажеттіліктеріне сәйкес теңшеледі:

• Тот баспайтын болаттан жасалған sus430: қол жетімді бағамен жақсы коррозияға төзімділікті ұсынады, стандартты қосымшалар үшін өте ыңғайлы.
• Алюминий қорытпасы 6061: жоғары температуралы өткізгіштікпен жеңіл, жоғары температуралы өткізгіштікпен, жоғары температуралы тұрақтылықты қажет ететін қосымшалар ұсынады.
• Тығыз алюминий керамика (99% Al2o3): жартылай өткізгіш өндірістегі жоғары дәлдікке қосымшалар үшін қолайлы электр оқшаулау және жоғары температураға төзімділікті қамтамасыз етеді.
• Гранитті: Өзіңнің механикалық қасиеттерімен танымал, гранитті механикалық демпингті ұсынады, бұл оны механикалық тұрақтылық қажет болған жағдайда, дәл дәлдікке итермелейді.
• Карбид Карбидтер керамикасы: жоғары жылу өткізгіштік пен жылу шоктарына төзімділіктің түпкілікті таңдауы және жылу шоктарына төзімділік, жартылай өткізгіштік ортада ұзақ уақытқа созылатын жұмыстарды қамтамасыз етеді.

Тамаша жазықтық дәлдігі: Чак вафлиді өңдеудің дәлдігі үшін ерекше жазықтылық ерекшеліктерімен ерекшеленеді. Әр түрлі базалық материалдардың тегіс дәлдігі келесідей өзгереді:

Алюминий қорытпасы 6061: орташа тегістігі және жеңіл қолданған өтініштер үшін ең жақсы.

SUS430 тот баспайтын болаттан жасалған: әдетте, жартылай өткізгіш процестер үшін жеткілікті тегісті ұсынады.

Тығыз алюмина (99% Al2o3): сезімтал процестер кезінде вафлиді қамтамасыз етуді қамтамасыз ету.

Гранит және SIC керамикасы: екі материалдар да жоғары тегістік және механикалық тұрақтылықты ұсынады, вафлиді пайдалануды талап ету үшін жоғары дәлдік береді.

Реттелетін салмақ: Чактың салмағы таңдалған негізгі материалға байланысты:

Алюминий қорытпасы 6061: Жеңіл материал, жиі қайта орналастыру немесе өңдеуді қажет ететін процестер үшін өте ыңғайлы.

Гранитті: қатты тұрақтылықты көп мөлшерде ұсынады, қатты тұрақтылықты шектейді.

Кремний карбиді және алюминий керамикасы: ең ауыр материалдар, олар талап ету үшін жоғары беріктігі мен қаттылықты ұсынады.

Жоғары дәлдік пен тұрақтылық: SIC CHICK Депараттарды мұқият дәлдікпен өңделетіндігін қамтамасыз етеді, өңдеу кезеңдері арқылы тасымалдау кезінде минималды вафлиді немесе деформацияны ұсынады.

Жартылай өткізгіш өндірісіндегі қосымшаларg

Микроорындық SIC CHUCK ең алдымен жартылай өткізгіш өндірістік процестердегі вафли қолданбалы қосымшаларда қолданылады, соның ішінде:

• Вафлиді тазалау: тазалау процестері кезінде вафлиді зақымдамай толық және біркелкі тазалау үшін тиімді ұстайды.
• Литография және литография: вафлиді немесе литография кезінде тұрақты вафлиді қамтамасыз етеді, дәлдік пен дәлдікті қамтамасыз етеді.
• Тұтыну: физикалық будың тұндыруы (ПВД) немесе химиялық будың тұндыруы (CVD), жартылай өткізгіш өндірісіндегі жұқа пленкалық жабындар үшін, вафлиді қамтамасыз етеді.
• Тексеру: тексеру кезеңдері кезінде қауіпсіз вафлиді қамтамасыз етеді, вафлиді жақсы туралап, жоғары ажыратымдылықтағы немесе өлшеу үшін тұрақты болып қалады.
• Қаптама: чипті бөлу алдында немесе одан кейін вафли үшін қауіпсіз жұмыс істеуді қамтамасыз ететін вафли-орам процесінде көмектеседі.

Subicorex Microsorx Sic Chuce заманауи жартылай өткізгіш өндірісінің қажеттіліктерімен жасалған. Жеңіл материалдарды оңай қайта орналастыруға немесе ауыр материалдарды қажет ете ме, әлде ауыр материалдар қажет пе, неғұрлым қатаң материалдарды дәл өңдеуге қажет пе, біздің Chuck сіздің нақты сипаттамаларыңызға сай ете аласыз. Базалық материалдардың бірқатар түрлерімен, әрбір өңдеу қажеттіліктері үшін бірегей артықшылықтар ұсынылған, Softorex дәлдік, жан-жақты және беріктігін біріктіретін өнімді ұсынады. Сонымен қатар, микроорын беті вафаланстардың дұрыстығын және біркелкі ұсталатынын қамтамасыз етеді, зақымдану қаупін азайтып, әр процесстің сапасын қамтамасыз ету.

Жартылай өткізгіш өндірушілер үшін сенімді, теңшелетін және жоғары сапалы вафли шешімдері үшін, Semicorex Microsor Sic Chuce, дәлдіктің, материалдық икемділік пен ұзаққа созылған көрсеткіштерді ұсынады. Біздің өніммен бірге сіздің вафлиді өңдеу процесі тиімді, қауіпсіз және өте дәл болатынына сенімді бола аласыз.