SIC ішкі сақиналары

SIMICOREX SIC саңылаулары жартылай өткізгішті өңдеу жүйелеріндегі, әсіресе эпитаксиалды реакторлар мен тұндыру жабдықтарындағы маңызды компоненттер, әсіресе эпитаксиальды реакторлар және судың тұрақтылығы және технологиялық тұрақтылық сапасы мен құрылғының жұмысымен қатар, вафлиді өңдеуге әсер етеді. SIC кіріс сақиналары Процесс газдарының кірістігін бақылауға арналған, ал тұрақтандыратын, әсіресе, әсіресе, температура мен химиялық реактивтілікке, әсіресе, температура, әсіресе жоғары температурада. SIC ішкі сақиналары өте жоғары тазалық кремний карбидінен (SIC) толығымен, олардың жылу соққысына, коррозияға төзімділігіне және бөлшектердің пайда болуына мүмкіндік береді, ал бөлшектердің пайда болуына жол бермейді - жетілдірілген жартылай өткізгішті жасау.

Кремний карбидінің басты артықшылығы Материал ретінде термиялық жағдайларды сезіну мүмкіндігі болып табылады. Эпитаксиальды өсу және басқа жартылай өткізгіш процестер болған жағдайда реакторлар дәстүрлі материалдардан асып түсетін жоғары температуралық деңгейлерде тұр. SIC ішкі сақиналары мұндай тұрақты температурадан кейін термиялық шыдай алады, ал деформациясыз және әсіресе ешқандай ысырап жоқ. Олар газдардың ағынының біркелкілігін болдырмау үшін өлшемді бола алады. Әрі қарай, SIC кіріс сақиналарының температураға төзімділігі ұзақ операциялық циклдер бойынша процестердің біркелкі жағдайларын қамтамасыз етеді. Бұл фактор жоғары көлемді өндіріске, сондай-ақ құрылғыны өндіру үшін құнды.

Химиялық тұрақтылық, жылу тұрақтылығынан басқа, тағы бір маңызды сапаСиріктіҚоқыс жәшігі. Жартылай өткізгіш процестерде Silane, сутегі және аммиак сияқты реактивті газдар болуы мүмкін немесе кейбір хлорлы химия өнімдерін қолдану. Реактивті газдарға ұшыраған кезде коррозия немесе тозған материалдар вафлидің алғашқы экспозициядан ластануына әкелуі мүмкін және нәтижесінде процестің тиімділігін тудырады. SIC химиялық шабуылға жоғары қарсылық береді, ол радикалды тазалықты сақтайды, бұл радикалды тазалықты сақтайды, бөлшектердің ластануын болдырмайды және вафлидің тұтастығын қамтамасыз етеді, сонымен қатар жоғары өнімділікке және төмендетілген ақауларға әкеледі.

Дәлдіктің дәлдігі - бұл кіріс сақинаның жұмысында тағы бір маңызды қарау. Сақинаның геометриясы технологиялық газдардың ағын сипаттамаларын бақылауда өте маңызды. Аздап сәйкессіздіктер газдардың біркелкі бөлінбеуіне әкеледі және вафлидің біркелкі емес өсуіне немесе допинг сипаттамаларына әкеледі.SIC ішкі сақиналарыДәлдік техниканы қолдана отырып, тығыз төзімділікке, жақсы жазықтылыққа қол жеткізуге, жақсы тегістелуге және бетінің керемет әрлеуін қолдана отырып өндіріледі. Кіріс сақиналарының дәлдік аспектісі вафлидің технологиялық бақылауына тікелей әсер ететін процестер камерасына қайталанатын, біркелкі жеткізілімін қамтамасыз етеді.

Реттеу - бұл SIC Counting Rings-тің тағы бір маңызды артықшылығы. Жартылай өткізгіш жабдықтар мен процестердің әртүрлі дизайнына байланысты әр қолданба дұрыс орналастырылатын әр түрлі компонентті қажет етеді. SIC кіріс сақиналарын әр түрлі мөлшерде, пішіндермен, пішіндермен және түрлерде өндіруге болады, олар бойынша әр түрлі реактор модельдері мен қосымшаларының қажеттіліктерін қанағаттандырады. Әр түрлі беттік емдеуді және оңтайлы өнімділікті қолдана отырып, өнімділігін одан әрі жақсартуға болады, бұл клиенттерге өндірістік ортаға ерекше ерітінді ме?

Техникалық пайданынан басқа, SIC кіріс сақиналарында операциялық және экономикалық артықшылықтар бар. Жылу және химиялық күйзелістерге қарсы тұрақтылық аз жұмыс күші мен шығын материалдарын азырақ ауыстыру және төмендету шығындарын білдіреді. Өткізгіштігін барынша арттыруға және жартылай өткізгіш фабтың тиімділігін арттыруға тырысқанда, SIC кіріс сақиналары процестер сапасын сақтау кезінде ұзақ мерзімді үнемді шешім ұсынады.

SubicorexSIC ішкі сақиналарыЖартылай өткізгішті өндірістік қосымшалар үшін жетілдірілген өнімділікті қамтамасыз ету үшін кремний карбиді материалының озық қасиеттерін біріктіріңіз. Жоғары жылулыққа төзімділігі, көрнекті химиялық тұрақтылық және дәл өңдеу, SIC кіріс сақиналары ұзақ мерзімді ұзақ мерзімді қосымшалар үшін газ шығынын бақылауға сенімділік ұсынуға арналған. Ластанусыз және теңшелетін, SIC кіріс сақиналары - бұл технологиялық тұрақтылықты, жоғары тиімділікті және құрылғыларға берілетін табалардың негізгі компоненті болып табылады. SIC Winsing SIC SIMICOREX-тен SIC-ті таңдау арқылы жартылай өткізгіш өндірушілер жартылай өткізгіш өндірісіндегі ең қиын процестердің талаптарын қанағаттандыруға арналған дәлелденген шешіммен жұмыс істеуде.