Егер сізге ерекше жылу өткізгіштік және жылу тарату қасиеттері бар графит қабылдағыш қажет болса, LPE эпитаксисіне арналған Semicorex индуктивті қыздырылған бөшкелік эпи жүйесінен басқасын іздеңіз. Оның жоғары таза SiC жабыны жоғары температура мен коррозиялық ортада жоғары қорғанысты қамтамасыз етеді, бұл оны жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбаларында пайдалану үшін тамаша таңдау етеді.
LPE Epitaxy үшін Semicorex индуктивті қыздырылған бөшкелік эпи жүйесі ерекше жылуды бөлуді және жылу өткізгіштігін қажет ететін жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбалары үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның жоғары таза SiC жабыны және жоғары тығыздығы ең қиын орталарда да сенімді және тұрақты өнімділікті қамтамасыз ете отырып, жоғары қорғаныс және жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді.
Semicorex-те біз өз тұтынушыларымызға жоғары сапалы, үнемді өнімдерді ұсынуға назар аударамыз. LPE эпитаксиясына арналған индуктивті жылытылатын бөшкелік эпи жүйеміз баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарға экспортталады. Біз тұрақты сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды мақсат етеміз.
LPE эпитаксиясына арналған индуктивті қыздырылған бөшкелік эпи жүйесінің параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
LPE эпитаксиясына арналған индуктивті қыздырылған бөшкелік эпи жүйесінің ерекшеліктері
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыстыру беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.