Көлденең камералық пештер

Semicorex көлденең камера пештері - бұл жоғары инженерлі бөлік, олар жоғары деңгейдегі және субстрат өткізеді және олар көлденең камералық пеште жоғары температуралы термиялық өңдеуге ұшырайды. Вафли қайық жоғары тазалыққа арналған Кремний карбид (SIC)Жартылай өткізгіш, фотоэлектрлік және алдыңғы қатарлы керамика процестерінде сұраныс, жылу тұрақтылығы және жоғары химиялық тұрақтылықтың ерекше үйлесімін ұсынады. Вафли қайық вафлиді ұстанымдарды ұстану үшін қатаң құрылым ретінде әрекет етеді, өлшемді тұрақтылық пен вафлидің дәлдігі экстремалды процесс температураларына дейін жоғалып кетпейді.

Кремний карбидінің жоғары қасиеттері көлденең камералық пешті Quartz немесе alumina сияқты вафли қайықтарымен салыстырғанда жақсы артықшылықты қамтамасыз етеді. Олар жылу мен салқындатудың немесе салқындатудың немесе салқындатудың немесе жылу циклінің шекарасына қарамастан, олардың жоғары балқу нүктесіне, жылу соққыларына және механикалық беріктікке байланысты сирек кездеседі. Көлденең пеш толығымен вафлидің позицияларының және технологиялық жағдайлардың дәйектілігіне, вафлидің дұрыс туралауына сенеді, дұрыстығын дұрыс туралау тұрақты процестер мен қайталануды қамтамасыз етеді. Жылу кеңеюінің төмен коэффициенті дегеніміз, қайық өз өміріне бұрмаланбайды және вафлидің бөлінбеген пішіні мен аралығын қамтамасыз етпейді.

Recrrestalled SIC-тің ұшы, тығыз құрылымы тотығуға, коррозияға және технологиялық газдар мен жанама өнімдермен ластануға керемет төзімділік береді. Бұл кемені диффузия, тотығу, LPCVD және тазарту сияқты агрессивті атмосферадағы процестер үшін ерекше етеді. SIC-тің жоғары химиялық инерстері вафли беттерімен реакциялардан аулақ болады, осылайша пеште өнімнің тазалығын сақтайды және бөлшектердің пайда болуын азайтады. SIC қайықтары тазалыққа деген қатаң талаптарға жауап беретін, тазартқышты өңдеу орталарымен қамтамасыз етіліп, вафлидің сапасын жақсартатын өндірушілерге көмектесе алады.

Бұл қайықтарды әр түрлі күрделі геометриялармен және дәл өңдеу және қалыптастыру техникасымен бөлшектік өлшемдермен шығаруға болады. Дизайн, әдетте, вафлиді көлденең бағытта мықтап ұстау үшін бірнеше параллель слоттар / ойықтарды қолданады және бүкіл вафли бетіне жылу жағдайына біркелкі әсер етеді. Ұшқыштардың аралықтары мен бұрыштарын, сондай-ақ, басқа диаметрлердің, мысалы, 150 мм, 200 мм немесе 300 мм, мысалы, өңдеуге арналған температура кезінде температураны өңдеу кезінде тікелей ауа ағынын және тікелей ауа ағынын оңтайландыруға болады.

Көлденең камералық пештерде SIC CHINGS-тің SIC-ке дейін жөнелтулер ғана емес, бірақ олар заманауи жоғары деңгейдегі өндірістік желілерге біршама интеграциялануға мүмкіндік бере алады. Мықты дизайн сонымен қатар қайықтарды өңдеу кезінде чипке немесе үзіліске ұшырайды және жұмыстан босатады және ауыстыруға кетеді.

Жылу өткізгіштіккремний карбидіВафтерлер мен пештің қоршаған ортасы арасындағы жылу энергиясын тиімді өткізуге мүмкіндік беретін басқа негізгі артықшылықты білдіреді. Артықшылығы - өндірушілердің біркелкі өңдеу жағдайларына қол жеткізе алады және цикл уақыттарын қысқартады, бұл өндіріс тиімділігін арттырады. SIC қайықтары жартылай өткізгіш вафли үшін қолданылғанына, күнгі жасушалық өндіріске немесе жоғары температурада басқа да озық материалдарды өңдейтініне сәйкес келетін немесе қайталанатын нәтижелер ұсынады.

Қорытындылай келе, көлденең камералық пештер - бұл жоғары сапалы, ұзақ және ластануға төзімді вафли-вафли-вафли шығаратын өндірушілердің негізгі компоненті. Оның механикалық беріктігі, жылу тұрақтылығы және химиялық инерстері бар, олар көлденең пештер қосымшаларында тең емес. Кремний карбидтік қайықтарын таңдау арқылы операторлар технологиялық бақылауды, жоғары өнімді, өнімділікті арттыра алады және техникалық қызмет көрсету салдарынан пайдалану үзінділерін азайта алады. Жалпы ол тиімдірек, үнемді өндірістерді қамтамасыз етеді.