Жартылай өткізгішті өндіруге келетін болсақ, Semicorex жоғары температуралы SiC-қапталған бөшкелік сусептор жоғары өнімділік пен сенімділік үшін ең жақсы таңдау болып табылады. Оның жоғары сапалы SiC жабыны және ерекше жылу өткізгіштігі оны тіпті ең талап етілетін жоғары температура мен коррозиялық орталарда қолдануға өте ыңғайлы етеді.
Semicorex жоғары температуралы SiC-қапталған бөшкелік сусцептор бір кристалды өсіру және жоғары жылу мен коррозияға төзімділікті қажет ететін басқа жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбалары үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның кремний карбиді жабыны ең қиын орталарда да сенімді және дәйекті өнімділікті қамтамасыз ете отырып, жоғары қорғаныс және жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді.
Semicorex-те біз жоғары сапалы, үнемді жоғары температуралы SiC жабынымен қапталған баррельді қабылдауға назар аударамыз, біз тұтынушылардың қанағаттануын бірінші орынға қоямыз және үнемді шешімдерді ұсынамыз. Біз жоғары сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Жоғары температуралы SiC-қапталған бөшкелік сусцептордың параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Жоғары температуралы SiC-қапталған бөшкелік сусцептордың ерекшеліктері
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.
- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.
- Графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыстыру беріктігін тиімді жақсартыңыз.
- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.