Жартылай өткізгішті жабдыққа арналған газ кіріс сақинасы

Semicorex - Қытайдағы кремний карбидімен қапталған графит сусцепторының ірі өндірушісі және жеткізушісі. Біз кремний карбиді қабаттары және эпитаксистік жартылай өткізгіш сияқты жартылай өткізгіш салаларға назар аударамыз. Жартылай өткізгішті жабдыққа арналған газ құятын сақинамыз жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жартылай өткізгішті жабдыққа арналған Semicorex газ кіріс сақинасы SiC қапталған, ол тығыз, тозуға төзімді кремний карбиді (SiC) жабыны. Ол жоғары коррозияға және ыстыққа төзімді қасиеттерге, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие. Біз химиялық бу тұндыру (CVD) процесін пайдалана отырып, графитке жұқа қабаттарда SiC жағамыз.

Жартылай өткізгішті жабдыққа арналған газ құятын сақинамыз жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ең жақсы ламинарлы газ ағынының үлгісіне қол жеткізуге арналған. Бұл вафли чипіндегі жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі.

Жартылай өткізгіш жабдықтарға арналған газ құятын сақина туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Жартылай өткізгішті жабдықтың газ кіріс сақинасының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Фелексальды күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300