Semicorex - Қытайдағы кремний карбидімен қапталған графит сусцепторының ірі өндірушісі және жеткізушісі. Біз кремний карбиді қабаттары және эпитаксистік жартылай өткізгіш сияқты жартылай өткізгіш салаларға назар аударамыз. Жартылай өткізгішті жабдыққа арналған газ құятын сақинамыз жақсы баға артықшылығына ие және көптеген еуропалық және американдық нарықтарды қамтиды. Біз сіздің Қытайдағы ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Жартылай өткізгішті жабдыққа арналған Semicorex газ кіріс сақинасы SiC қапталған, ол тығыз, тозуға төзімді кремний карбиді (SiC) жабыны. Ол жоғары коррозияға және ыстыққа төзімді қасиеттерге, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие. Біз химиялық бу тұндыру (CVD) процесін пайдалана отырып, графитке жұқа қабаттарда SiC жағамыз.
Жартылай өткізгішті жабдыққа арналған газ құятын сақинамыз жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ең жақсы ламинарлы газ ағынының үлгісіне қол жеткізуге арналған. Бұл вафельді чипте жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі.
Жартылай өткізгіш жабдықтарға арналған газ құятын сақина туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
Жартылай өткізгішті жабдықтың газ кіріс сақинасының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Жартылай өткізгішті жабдықтың газ кіріс сақинасының ерекшеліктері
â Тазалығы жоғары SiC қапталған графит
â Жоғары ыстыққа төзімділік және жылу біркелкілігі
â Тегіс бет үшін жұқа SiC кристалымен қапталған
â Химиялық тазалауға төзімділігі жоғары
â Материал жарықтар мен қабаттасуға жол бермейтін етіп жасалған.