Жиек сақиналары

Subicorex жиек сақиналары - бұл толық жартылай өткізгішті өндіру процесінің, әсіресе вафлиді өңдеуге арналған қосымшалардың, оның ішінде плазмалық өңдеу және химиялық будың тұндыруының маңызды бөлігі (CVD). Жиек сақиналары процесстің тұрақтылығын, вафлидің кірістілігін және құрылғының сенімділігін жақсарту үшін біркелкі тарату үшін жартылай өткізгіш вафлидің сыртқы периметрін қоршауға арналған. Біздің жиек сақиналарымыз кремний карбиді (CVD SIC) жоғары сапалы химиялық бумен тұндырудан жасалған және процессорлық ортаға салынған.

Плазмалық процестер кезінде мәселелер пайда болады, мұнда энергияның біркелкі еместігі және плазмалық бұрмаланулар, онда вафлидің шетіндегі плазмалық бұрмаланулар кемшіліктер, процесті немесе кірістіліктің жоғалу қаупін тудырады. Жиек сақиналары вафлидің сыртқы периметрі бойынша энергия өрісін фокустау және қалыптастыру арқылы осы тәуекелді азайтыңыз. Шеткі сақиналар вафлидің сыртқы жиегінен тыс отырады және шеткі әсерлерді азайтады, вафлиді шетінен судың сыртынан сақтаңыз және вафли бетіне маңызды біркелкілікті қамтамасыз етеді.

CIC CMD материалдық артықшылықтары:

Біздің жиек сақиналарымыз қатал процессорлар үшін ерекше жобаланған және инженерленген SIC-тен шығарылады. CVD-ді SIC ерекше жылу өткізгіштік, жоғары механикалық беріктікпен және жақсы химиялық тұрақтылықпен сипатталады, ал жақсы химиялық тұрақтылық - CIC-ті барлық қасиеттер, бұл CVD-ді тіркейтін барлық атрибуттар.

Жоғары сапалы: CVD-де нөлдік шамдар бар, бұл нөлге жақын, бұл бөлшектерден аз болады және металл ластануы жоқ, ол металл ластанудың жоқтығы, ол жетілдірілген түйіннің жартылай өткізгіштерінде маңызды емес.

Жылу тұрақтылығы: материал жоғары температурада өлшемді тұрақтылықты сақтайды, бұл оның плазмалық позициясында вафлиді орналастыру үшін өте маңызды.

Химиялық инерстер: ол плазмалық немесе хлор сияқты коррозиялық газдарға, мысалы, плазмалық этчерея, сондай-ақ CVD процестерінде қолданылады.

Механикалық беріктік: CVD SIC ұзақ мерзімді өмірді қамтамасыз ететін және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтуға мүмкіндік беретін ұзартылған цикл кезеңдеріне төтеп бере алады.

Әрбір жиек сақина технологиялық камераның геометриялық өлшемдерін және вафлидің өлшемдерін орналастыруға арналған арнайы жасалған; әдетте 200 мм немесе 300 мм. Дизайнға төзімділік шеткі сақинаны қолданыстағы процесс модулінде қолданыстағы процесс модулінде пайдалануға беру үшін өте тығыз түседі. Өзгертпелі геометриялар мен бетінің әрлеуі бірегей OEM талаптары немесе құралдар теңшелімдерін орындау үшін қол жетімді.