LPE үшін берік SiC-қапталған бөшкелік қабылдағыш

Тамаша тығыздығы мен жылу өткізгіштігімен LPE үшін Semicorex Dayanaklı SiC-қапталған бөшкелік сусептор LPE процестерінде және жартылай өткізгіштерді өндірудің басқа қолданбаларында пайдалану үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның жоғары таза SiC жабыны жоғары қорғаныс және жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді, бұл оны сенімді және дәйекті нәтижелер алу үшін таңдаулы етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Егер сізге жоғары сапалы ыстыққа және коррозияға төзімділігі жоғары графит қабылдағыш қажет болса, LPE үшін Semicorex берік SiC-қапталған бөшкелік сусепторды іздеңіз. Оның кремний карбидті жабыны ерекше жылу өткізгіштік пен жылуды бөлуді қамтамасыз етеді, тіпті ең талап етілетін жоғары температуралық орталарда сенімді және тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді.

LPE-ге арналған берік SiC қапталған бөшкелік сусцептор жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ең жақсы ламинарлы газ ағынының үлгісіне қол жеткізуге арналған. Бұл вафельді чипте жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі.

LPE үшін берік SiC қапталған бөшкелік сусцептор туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

LPE үшін берік SiC-жабылған баррельді қабылдағыштың параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

LPE үшін берік SiC-қапталған бөшкелік сусцептордың ерекшеліктері

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.

- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.

- Графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыстыру беріктігін тиімді жақсартыңыз.

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.