Төзімді SiC-қапталған бөшкеге төзімді

Тамаша тығыздығы мен жылу өткізгіштігімен Semicorex берік SiC-қапталған бөшкелік сусептор эпитаксиалды процестерде және жартылай өткізгіштерді өндірудің басқа қолданбаларында пайдалану үшін тамаша таңдау болып табылады. Оның жоғары таза SiC жабыны жоғары қорғаныс пен жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді, бұл оны сенімді және дәйекті нәтижелер алу үшін таңдаулы етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Егер сізге жоғары сапалы ыстыққа және коррозияға төзімділігі жоғары графит қабылдағыш қажет болса, Semicorex берік SiC-қапталған бөшкеге арналған сенсорды іздеңіз. Оның кремний карбидті жабыны ерекше жылу өткізгіштік пен жылуды бөлуді қамтамасыз етеді, тіпті ең талап етілетін жоғары температуралық орталарда сенімді және дәйекті өнімділікті қамтамасыз етеді.
Біздің берік SiC-жабынмен қапталған бөшкелік сусцептор жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ең жақсы ламинарлы газ ағынының үлгісіне қол жеткізуге арналған. Бұл вафельді чипте жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі.
Біздің берік SiC қапталған бөшкелік сусцептор туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Төзімді SiC-қапталған бөшкенің қабылдағышының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

Төзімді SiC-қапталған бөшкелік сусцептордың ерекшеліктері

- Графит субстраты да, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.

- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.

- Графит субстраты мен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыс беріктігін тиімді жақсартыңыз.

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.