Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған Semicorex берік фокус сақиналары жартылай өткізгіштерді өңдеуде қолданылатын плазмалық өңдеу камераларының төтенше орталарына төтеп беруге арналған. Біздің фокус сақиналарымыз тығыз, тозуға төзімді кремний карбиді (SiC) жабыны бар жоғары таза графиттен жасалған. SiC жабыны жоғары коррозияға және ыстыққа төзімділікке, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие. Фокус сақиналарымыздың қызмет ету мерзімін жақсарту үшін химиялық бу тұндыру (CVD) процесін пайдаланып, графитке жұқа қабаттарда SiC жағамыз.
Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарымыз вафли жиегінің немесе периметрінің айналасында тегістеу біркелкілігін жақсартуға, ластануды және жоспардан тыс техникалық қызмет көрсетуді азайтуға арналған. Олар жылдам термиялық күйдіру (RTA), жылдам термиялық өңдеу (RTP) және қатаң химиялық тазалау үшін өте тұрақты.
Semicorex-те біз жартылай өткізгішті өңдеуге арналған жоғары сапалы, үнемді ұзақ фокус сақиналарын қамтамасыз етуге назар аударамыз, біз тұтынушылардың қанағаттануын бірінші орынға қоямыз және үнемді шешімдерді ұсынамыз. Біз жоғары сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.
Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарымыз туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.
Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарының параметрлері
CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары |
||
SiC-CVD қасиеттері |
||
Кристалл құрылымы |
FCC β фазасы |
|
Тығыздығы |
г/см³ |
3.21 |
Қаттылық |
Викерс қаттылығы |
2500 |
Астық мөлшері |
μм |
2~10 |
Химиялық тазалық |
% |
99.99995 |
Жылу сыйымдылығы |
Дж·кг-1 ·К-1 |
640 |
Сублимация температурасы |
℃ |
2700 |
Жіңішке күш |
МПа (RT 4-нүкте) |
415 |
Young's модулі |
Gpa (4pt иілісі, 1300â) |
430 |
Термиялық кеңею (C.T.E) |
10-6К-1 |
4.5 |
Жылу өткізгіштік |
(Вт/мК) |
300 |
Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарының ерекшеліктері
â Тесік саңылауларына төзімділік және ұзақ қызмет ету үшін жоғары таза графит және SiC жабыны.
â Графит субстраты да, SiC қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.
â SiC жабыны қызмет мерзімін жақсарту үшін жұқа қабаттарда қолданылады.