Үй > Өнімдер > Жартылай өткізгіш компоненттер > Фокус сақинасы > Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналары

Өнімдер

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналары

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналары

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған Semicorex берік фокус сақиналары жартылай өткізгіштерді өңдеуде қолданылатын плазмалық өңдеу камераларының төтенше орталарына төтеп беруге арналған. Біздің фокус сақиналарымыз тығыз, тозуға төзімді кремний карбиді (SiC) жабыны бар жоғары таза графиттен жасалған. SiC жабыны жоғары коррозияға және ыстыққа төзімділікке, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие. Фокус сақиналарымыздың қызмет ету мерзімін жақсарту үшін химиялық бу тұндыру (CVD) процесін пайдаланып, графитке жұқа қабаттарда SiC жағамыз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарымыз вафли жиегінің немесе периметрінің айналасында тегістеу біркелкілігін жақсартуға, ластануды және жоспардан тыс техникалық қызмет көрсетуді азайтуға арналған. Олар жылдам термиялық күйдіру (RTA), жылдам термиялық өңдеу (RTP) және қатаң химиялық тазалау үшін өте тұрақты.

Semicorex-те біз жартылай өткізгішті өңдеуге арналған жоғары сапалы, үнемді ұзақ фокус сақиналарын қамтамасыз етуге назар аударамыз, біз тұтынушылардың қанағаттануын бірінші орынға қоямыз және үнемді шешімдерді ұсынамыз. Біз жоғары сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарымыз туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.


Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары

SiC-CVD қасиеттері

Кристалл құрылымы

FCC β фазасы

Тығыздығы

г/см³

3.21

Қаттылық

Викерс қаттылығы

2500

Астық мөлшері

μм

2~10

Химиялық тазалық

%

99.99995

Жылу сыйымдылығы

Дж·кг-1 ·К-1

640

Сублимация температурасы

2700

Жіңішке күш

МПа (RT 4-нүкте)

415

Young's модулі

Gpa (4pt иілісі, 1300â)

430

Термиялық кеңею (C.T.E)

10-6К-1

4.5

Жылу өткізгіштік

(Вт/мК)

300


Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарының ерекшеліктері

â Тесік саңылауларына төзімділік және ұзақ қызмет ету үшін жоғары таза графит және SiC жабыны.

â Графит субстраты да, SiC қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

â SiC жабыны қызмет мерзімін жақсарту үшін жұқа қабаттарда қолданылады.



Hot Tags: Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналары, Қытай, өндірушілер, жеткізушілер, зауыт, теңшелген, жаппай, кеңейтілген, төзімді

Қатысты санат

Сұрау жіберу

Сұрауыңызды төмендегі формада қалдырыңыз. Біз сізге 24 сағат ішінде жауап береміз.
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept