> Өнімдер > Керамика > Кремний карбиді (SiC) > Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналары

Өнімдер

Жаңа өнімдер

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналары

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған Semicorex берік фокус сақиналары жартылай өткізгіштерді өңдеуде қолданылатын плазмалық өңдеу камераларының төтенше орталарына төтеп беруге арналған. Біздің фокус сақиналарымыз тығыз, тозуға төзімді кремний карбиді (SiC) жабыны бар жоғары таза графиттен жасалған. SiC жабыны жоғары коррозияға және ыстыққа төзімділікке, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие. Фокус сақиналарымыздың қызмет ету мерзімін жақсарту үшін химиялық бу тұндыру (CVD) процесін пайдаланып, графитке жұқа қабаттарда SiC жағамыз.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарымыз вафли жиегінің немесе периметрінің айналасында тегістеу біркелкілігін жақсартуға, ластануды және жоспардан тыс техникалық қызмет көрсетуді азайтуға арналған. Олар жылдам термиялық күйдіру (RTA), жылдам термиялық өңдеу (RTP) және қатты химиялық тазалау үшін өте тұрақты.

Semicorex-те біз жартылай өткізгішті өңдеуге арналған жоғары сапалы, үнемді ұзақ фокус сақиналарын қамтамасыз етуге назар аударамыз, біз тұтынушылардың қанағаттануын бірінші орынға қоямыз және үнемді шешімдерді ұсынамыз. Біз жоғары сапалы өнімдер мен ерекше тұтынушыларға қызмет көрсететін ұзақ мерзімді серіктес болуды асыға күтеміз.

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарымыз туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Фелексальды күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналарының ерекшеліктері

● Жоғары тазалықтағы графит пен SiC жабыны саңылауларға төзімділік пен ұзағырақ қызмет ету мерзіміне арналған.

● Графиттік негіз де, SiC қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

● Қызмет мерзімін жақсарту үшін SiC жабыны жұқа қабаттармен қолданылады.

Hot Tags: Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған берік фокус сақиналары, Қытай, өндірушілер, жеткізушілер, зауыт, теңшелген, жаппай, кеңейтілген, төзімді

Өнім тегі

Қатысты санат