Арнайы SiC Консоль қалақшасы

Semicorex Custom SiC Cantilever Paddle пластинаны тиеу жүйесі мен диффузиялық пештің жүрегі арасындағы маңызды буын қызметін атқарады, кремний пластиналары тиелген кварцты немесе SiC вафлиді қайықтарды жоғары температуралы өңдеу аймағына тасымалдауға жауапты. Олардың дизайны мен материал қасиеттері осы күрделі тапсырма үшін мұқият оңтайландырылған:

Вафельді тұрақты тасымалдауға арналған берік консольдық құрылым:Пешке созылатын қатты қолмен сипатталатын консольдық конструкция ерекше тұрақтылық пен вафли қозғалысын дәл бақылауды қамтамасыз етеді. Бұл біркелкі және дірілсіз тасымалдауды қамтамасыз етеді, тиеу және түсіру кезінде пластинаның сыну немесе тураланбау қаупін азайтады.

Топтаманы тиімді өңдеуге арналған жоғары жүктеме сыйымдылығы:SiC керамикасының өзіне тән беріктігі мен қаттылығы Custom SiC Cantilever Paddle-ге кремний пластинкаларының ауыр жүктемелерін орналастыруға мүмкіндік береді, бұл әрбір диффузиялық циклдің өткізу қабілетін барынша арттырады және өндіріс көлемінің жоғарылауына ықпал етеді.

Үздіксіз интеграцияға арналған дәл өлшемді басқару: Custom SiC Cantilever Paddle дәл өлшемдік сипаттамаларға мұқият дайындалған, бұл диффузиялық пештер жүйесіне тамаша сәйкестікті қамтамасыз етеді және автоматтандырылған вафельді өңдеу роботтарымен үздіксіз интеграцияны жеңілдетеді.

SiC керамикасын таңдау, атап айтқандаРеакциялық байланыстырылған кремний карбиді (RBSiC)жәнеАгломерленген кремний карбиді (SSiC), Custom SiC Cantilever Paddle үшін таңдау материалы олардың жоғары температуралы орталардағы ерекше өнімділік сипаттамаларына байланысты:

Айнымас жоғары температура тұрақтылығы: Custom SiC Cantilever Paddle диффузиялық пештерде кездесетін жоғары температураларда (1600°C дейін) деформацияға және сусылуға ерекше төзімділік көрсетеді. Бұл пластинаның тұрақты қолдауын қамтамасыз етеді және вафельдің біркелкілігіне нұқсан келтіруі мүмкін салбыраудың немесе иілудің алдын алады.

Ерекше термиялық соққыға төзімділік:Температураның жылдам ауысуларына зақым келтірместен төтеп беру қабілеті сансыз диффузиялық циклдар ішінде Custom SiC Cantilever Paddle тұтастығын сақтау үшін өте маңызды. SiC керамикалары осыған байланысты артықшылық береді, бұл қымбат тұруға әкелетін крекинг немесе сыну қаупін азайтады.

Дәл туралау үшін төмен термиялық кеңею:SiC керамикасының минималды термиялық кеңеюі Custom SiC Cantilever Paddle жұмыс кезінде орын алған кең температура диапазонында өзінің өлшемдік тұрақтылығын сақтауды қамтамасыз етеді. Бұл пеш ішінде пластинаның дәл туралануын сақтау, біркелкі қыздыру және тұрақты диффузиялық профильдерді қамтамасыз ету үшін өте маңызды.