Sic қақпағы

Subicorex SIC қақпағы - бұл жартылай өткізгішті өңдеуге арналған маңызды бөлігі. Ол эпитакси, ион имплантациясы және жоғары температуралы қосымшалардағы ең қиын орталарға арналған. Ол өте тұрақты материалдық қасиеттері бар ультра таза кремний карбидінен шығарылады, олар өте тұрақты материалдық қасиеттері бар және инженерлік дәлдікке ие. Ұзақ мерзімді дәйектілік, беріктік және тазалық - жартылай өткізгіштік өндірістік процестерде қолдануға арналған семикореккалық SIC қақпағын таңдаудың негізгі себептері болып табылады.

Кремний карбид (SIC)дәстүрлі керамикамен немесе металл материалдармен салыстырғанда бірегей қасиеттері бар. SIC-тің басты артықшылықтарының бірі - бұл оның жоғары температураға төзімділігі. ӘЖК құрылымдық тұтастық пен механикалық тұрақтылықты сақтай алады - ұзақ уақыт бойы де жоғары температурада да. Бұл SIC химиялық будың тұндыру (CVD) эпитакси немесе жоғары энергия ионын имплантациялау сияқты процестерге өте ыңғайлы. Металдар мен пластмассалар тым температурада деформация, тотықтырады, тотықтырады немесе ластайды, ал SIC өлшемді тұрақтылықты сақтайды және өңделетін вафлидермен оң әсер етпейді.

Химиялық тұрақтылық - бұл SIC қақпақтарының тағы бір ерекшелігі. Жартылай өткізгішті өңдеуде сіз коррозиялық газдармен, плазмалық немесе реактивті химикаттармен кездесуі мүмкін орталар сирек емес. Бұл сценарийлерде SIC беті ластаушы заттарға уақытылы нашарлатады, бұл ұзақ тиімді өмірге әкеледі. Бұл ұзақ өмір сүру ұзартылған шығындар, жабдық уақытын қысқартады, ұзартылған процестер бойынша қайталанулармен байланысты. Бұл факторлар SIC қақпағын дәстүрлі материалдармен салыстырғанда үздіксіз, жоғары өнімді өндіріске қажет ететін жастарды жақсартады.

Тек химиялық тұрақтылық сияқты, жартылай өткізгіш қосымшада тазалық бар. Іздік ластаушы заттардың болуы құрылғының жұмысына және кірістілігіне кері әсері болуы мүмкін. SIC қақпағы жоғары тазалық кремний карбид материалдарынан жасалған, олар технологиялық ортаға ағатын металл қоспалардың мүмкіндігін жоққа шығарады. Сонымен қатар, бұл мүмкіндігінше таза және тұрақты болуға, ол ластаушы заттар мен сыртқы істерге әсер ететіндей, бұл ластаушы заттар мен сыртқы күштерге қатысты, өйткені бүгінде жартылай өткізгішті өндіруге қойылатын талаптарды қанағаттандыруға, Nanomer деңгейі нысандарын ластаушы заттарды және бақылаумен анықтауға болады. SIC қақпағын ұсынатын икемділік қосымша мән болып табылады. Әрбір компонент белгілі бір тұтынушыға арналған қажеттіліктерге, геометрияға және беттік қабатқа қатысты жобалануы мүмкін. Бұл қақпақты әр түрлі жабдық модельдерімен және технологиялық құралдармен оңай енгізуге және интеграциялануын қамтамасыз етеді.

Өңдеудің дәлдігіСиріктіҚақпақтар SIC қақпақтарының құнын одан әрі жақсартады. Жартылай өткізгіш құралдары өлшемді үйлесімділік пен беттің біркелкілігінің үлкен ауытқуын, тіпті біркелкілік пен материалдық қалыңдығының да аз ауытқуларына байланысты ең жоғары механикалық дәлдікті қажет етеді, тіпті біркелкілік пен материалдық қалыңдықтың, өнімнің және өнімнің сапасын қатты бұзуы мүмкін. Материалдарды өңдеудегі алдыңғы қатарлы технологиялар арқылы, SIC қақпақтарында тегістік, бетінің біркелкілігі және толеранттары бар, олар дәстүрлі салалық стандарттардан асып түседі, бұл, әдетте, мыңдаған және мыңдаған дюйм (TIR) ​​механикалық герметикалық стандарттардан тұрады. Жоғары тегістік механикалық сәйкестендіруге, сондай-ақ өндірістік процесстегі жағдайларға зертханалық-маркалық лимиттердің кепілдігін беруге мүмкіндік береді. Бұл әсіресе, сонымен қатар жоғары көлемді фабаларда айқын көрінеді, онда жартылай өткізгіштер құрылғыларының орындалуы үшін маңызды болып табылады. Дәлдік жүргізу кезінде оны оңтайландыруға тікелей тигізеді. Егер SIC қақпағы әдеттегідей, мысалы, эпитаксиде, мұнда SIC қақпағы драйлатқа және иондық имплантация жүйесінде иондардың қақпағына төтеп беруге, механикалық конфигурациялар мен қасиеттерге, олардың механикалық конфигурациялары мен қасиеттеріне тұрақты түрде жұмыс істейді, олардың жұмыс істеуі мен техникалық қызмет көрсетуге тұрақты болды SIC қақпағы қатты күйдік жартылай өткізгіш өндірісінде синонимге арналған.

SEMICOREX SIC қақпағы көптеген материалдардан да, материалдық-техникалық жұмыстардың ең жақсысын ұсынады және жартылай өткізгіш ортада, олардың жоғары температуралы төзімділігі, химиялық төзімділігі, идеалды тазалығы, кедендік жексұрын, нақты өңдеу жұмыстарын, нақты өңдеу жұмыстарын ұсынады, SIC қақпағы орындалады.