Жартылай өткізгіштерге арналған керамикалық фокус сақиналары

Semicorex керамикалықфокус сақинасыЖартылай өткізгіштерге арналған s - бұл плазмалық өңдеудің қатал жұмыс жағдайларына арналған тамаша шешімдер. Күрделі жартылай өткізгішті сызу процесі кезінде плазманың таралуын дәл бақылау өте маңызды, ол ою камерасының тұрақтылығын және жартылай өткізгішті тегістеу біркелкілігін қамтамасыз етеді. Жетілдірілген ою жабдығында қолданылатын таптырмас құрамдас бөліктер ретінде фокус сақиналары әдетте жартылай өткізгіш пластиналар айналасында орналасады және олармен тікелей байланыста болады. Фокус сақиналарының өнімділігі процестің қайталану мүмкіндігіне, өнімнің шығымдылығына және жабдықтың жұмыс уақытына тікелей әсер етеді.

Жартылай өткізгіштерге арналған Semicorex керамикалық фокус сақиналарының артықшылықтары

1.Ультра жоғары материал тазалығы

Біздің тазалығымызCVD SiCматериал 99,9995%-дан асады. Бұл материал тазалығының жеткіліксіздігінен туындаған оюлау камерасы мен жартылай өткізгіш пластинкалардың ластануын тиімді болдырмайды.

2. Коррозияға ерекше төзімділік

Жартылай өткізгіштерге арналған Semicorex керамикалық фокус сақиналары тотығуға, эрозияға және химиялық коррозияға тамаша қарсылық көрсететін CVD SiC-тен жасалған, әсіресе HF және HCI сияқты технологиялық газдарға, сондай-ақ плазмалық газға қарсы тиімді.

3. Жоғары қарсылық өнімділігі

Жартылай өткізгішке арналған Semicorex керамикалық фокус сақиналарының кедергісі біркелкілігі 5%-дан аз.

Меншікті кедергі диапазондары: Төмен Рес. (<0,02 Ω·см), Орташа ажыратымдылық. (0,2–25 Ω·см), Жоғары ажыратымдылық. (>100 Ω·см).

Жартылай өткізгіштерге арналған Semicorex керамикалық фокус сақиналарының функциялары

1. Шеттік электр өрісін және плазмалық үлестіруді бақылау және біркелкі ету

Жартылай өткізгішке арналған Semicorex керамикалық фокус сақиналары сызу камерасының ішіндегі электр өрісінің таралуын басқара алады және жартылай өткізгіш пластиналар айналасында біркелкі плазмалық қабықшаға қол жеткізе алады, бұл плазманың пластинаның бетіне тік және біркелкі соғуына мүмкіндік береді. Осылайша, оюдың жиегі әсерін айтарлықтай азайтуға және ою дәлдігін айтарлықтай жақсартуға болады.

2. Электростатикалық патронды қорғаңыз

Озарту процесінде фокус сақиналарын қорғаусыз электростатикалық патрон жоғары энергиялы плазманың бомбалануы мен эрозиясына ұшырайды. Электростатикалық патрондар ауыстыру құны өте жоғары болатын қымбат материалдардан жасалған. Фокус сақиналарын пайдалану электростатикалық патрондағы плазмалық коррозияны тиімді түрде төмендетеді және электростатикалық патронға техникалық қызмет көрсету және ауыстыру шығындарын азайтады.