Сұйық фазалық эпитаксияға арналған бөшкелік қабылдағыш

Егер сізге ең талап етілетін жоғары температура мен коррозиялық орталарда да сенімді және дәйекті жұмыс істей алатын графит қабылдағыш қажет болса, сұйық фазалық эпитаксияға арналған Semicorex баррельді қабылдағыш тамаша таңдау болып табылады. Оның кремний карбиді жабыны тамаша жылу өткізгіштік пен жылуды бөлуді қамтамасыз етеді, жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбаларында ерекше өнімділікті қамтамасыз етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Сұйық фазалық эпитаксияға арналған Semicorex баррельді қабылдағыш жоғары жылу мен коррозияға төзімділікті қажет ететін жартылай өткізгіштерді өндіру қолданбалары үшін таңдаулы таңдау болып табылады. Оның жоғары таза SiC жабыны және ерекше жылу өткізгіштігі тіпті ең қиын орталарда сенімді және дәйекті өнімділікті қамтамасыз ете отырып, жоғары қорғаныс және жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді.

Сұйық фазалық эпитаксияға арналған бөшкелік қабылдағышымыз жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізуге арналған. Бұл вафли чипіндегі жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі.

Сұйық фазалық эпитаксияға арналған бөшкелік сусцептор туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Сұйық фазалық эпитаксияға арналған бөшкелік сусцептордың параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC β фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	мкм	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж кг-1 К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Фелексальды күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Жас модулі	Gpa (4pt иілу, 1300℃)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

Сұйық фазалық эпитаксияға арналған бөшкелік сусцептордың ерекшеліктері

- Графит субстраты да, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.

- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.

- Графит субстраты мен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыс беріктігін тиімді жақсартыңыз.

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.