Жартылай өткізгішті эпитаксиалды реакторға арналған бөшке құрылымы

Жартылай өткізгішті эпитаксиалды реакторға арналған Semicorex бөшкелік құрылымы ерекше жылу мен коррозияға төзімділікті қажет ететін жоғары өнімді графит қабылдағыш қолданбалары үшін таңдаулы таңдау болып табылады. Оның жоғары таза SiC жабыны және жоғары тығыздығы мен жылу өткізгіштігі ең қиын орталарда да сенімді және дәйекті өнімділікті қамтамасыз ете отырып, жоғары қорғаныс және жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді.

Жартылай өткізгішті эпитаксиалды реакторға арналған бөшкелік құрылымымыз жылу профилінің біркелкілігін қамтамасыз ететін ламинарлы газ ағынының ең жақсы үлгісіне қол жеткізуге арналған. Бұл вафельді чипте жоғары сапалы эпитаксиалды өсуді қамтамасыз ете отырып, кез келген ластануды немесе қоспалардың диффузиясын болдырмауға көмектеседі.

Жартылай өткізгіш эпитаксиалды реакторға арналған бөшке құрылымы туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Жартылай өткізгішті эпитаксиалды реакторға арналған бөшке құрылымының параметрлері

Жартылай өткізгішті эпитаксиалды реакторға арналған бөшке құрылымының ерекшеліктері

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жақсы тығыздыққа ие және жоғары температура мен коррозиялық жұмыс орталарында жақсы қорғаныс рөлін атқара алады.

- Монокристалды өсіру үшін қолданылатын кремний карбидімен қапталған сенсордың бетінің тегістігі өте жоғары.

- Графиттік субстрат пен кремний карбиді қабаты арасындағы термиялық кеңею коэффициентіндегі айырмашылықты азайтыңыз, крекинг пен қабаттасуды болдырмау үшін байланыстыру беріктігін тиімді жақсартыңыз.

- Графиттік негіз де, кремний карбиді қабаты да жоғары жылу өткізгіштікке және тамаша жылу тарату қасиеттеріне ие.

- Жоғары балқу температурасы, жоғары температурадағы тотығуға төзімділігі, коррозияға төзімділігі.