6 дюймдік SiC қайық

Semicorex 6 дюймдік SiC Boat - тотығу, диффузия және басқа да жылу процестері сияқты қолданбалар үшін арнайы жоғары температурадағы жартылай өткізгіштерді өңдеудің өнімділігі мен тиімділігін оңтайландыруға арналған жетілдірілген пластинаны тасымалдаушы. Жоғары сапалы кремний карбидінен (SiC) жасалған бұл өнім жоғары термиялық тұрақтылықты, тамаша коррозияға төзімділікті және ең аз ластану қаупін қамтамасыз ететін маңызды жоғары температура операциялары кезінде жартылай өткізгіш пластиналарды ұстауға арналған сенімді шешім ұсынады.

6 дюймдік SiC қайық жоғары таза кремний карбиді (SiC) арқылы жасалған, ол өзінің тамаша термиялық қасиеттерімен, химиялық төзімділігімен және қатал ортадағы беріктігімен танымал. SiC жоғары балқу температурасына (шамамен 2700°C) байланысты жартылай өткізгіш өндірісінде кеңінен қолданылады, бұл оны тотығу және диффузиялық пештерде вафельді өңдеу сияқты жоғары температурада қолдану үшін өте қолайлы етеді. Қайықтың дизайны тамаша құрылымдық тұтастық пен жылуды біркелкі бөлуді қамтамасыз етеді, бұл жартылай өткізгіш кристалдардың өсуінде, тотығуда және басқа термиялық өңдеулерде дәйекті нәтижелерге қол жеткізу үшін өте маңызды.

Негізгі мүмкіндіктер мен артықшылықтар

Жоғары термиялық тұрақтылық

SiC-тің ерекше жылу өткізгіштігі 6 дюймдік SiC қайығының деформациясыз немесе нашарлаусыз экстремалды температураға төтеп бере алатынын қамтамасыз етеді. Бұл қасиет әсіресе тотығу және диффузия процестері кезінде өте құнды, мұнда вафлиді дәйекті өңдеу үшін температураны дәл бақылау қажет.

Тамаша химиялық төзімділік

Кремний карбидінің химиялық коррозияға тән тұрақтылығы қайықты оттегі, азот немесе басқа реактивті элементтер сияқты агрессивті газдардың әсері жиі болатын орталарда пайдалану үшін өте қолайлы етеді. Қайық ластану ықтималдығын азайта отырып, жоғары температурада, химиялық реактивті орталарда құрылымдық тұтастығын және өнімділігін сақтайды.

Жоғары температураға төзімділік

6 дюймдік SiC қайық 1500°C дейінгі температурада жұмыс істеуге арналған, бұл тотығу мен диффузияны қоса алғанда, көптеген жоғары температуралы жартылай өткізгіш процестерге қойылатын талап. Бұл жоғары температураға төзімділік тіпті талап етілетін қолданбаларда ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді.

Ластану қаупі төмен

Жартылай өткізгішті өңдеудегі маңызды факторлардың бірі пластинаның ластануын азайту болып табылады. SiC қоспаларының төмен деңгейлері және реактивті емес табиғаты 6 дюймдік SiC қайықтарының таза және бақыланатын ортаға ықпал етуін қамтамасыз етеді, осылайша өңдеу кезінде қажетсіз ластану қаупін азайтады.

Бірыңғай вафельді қолдау

Қайықтың дизайны пластинаның оңтайлы туралануын сақтай отырып, біркелкі қолдауды қамтамасыз етеді және жоғары температурада өңдеу кезінде кез келген салбыраудың немесе тураланудың алдын алады. Бұл біркелкі қолдау дәйекті нәтижелерді қамтамасыз ету және вафель ақауларының алдын алу үшін өте маңызды.

Теңшеу опциялары

6 дюймдік SiC қайығын әр түрлі вафли түрлеріне арналған арнайы өлшемдерді, пішіндерді және конфигурацияларды қоса алғанда, тұтынушылардың нақты талаптарына сәйкес келтіруге болады. Тотығу, диффузия немесе басқа термиялық процестер үшін пайдаланылғанына қарамастан, қайықты тұтынушының нақты процесс ағыны үшін оңтайландыруға болады.

Жартылай өткізгіштер өндірісіндегі қолданбалар

6 дюймдік SiC қайық негізінен жартылай өткізгіш өндірісіндегі жоғары температуралық термиялық процестерде қолданылады. Ол әсіресе тотығу және диффузиялық пештерде тиімді, мұнда вафельді сәтті өңдеу үшін температура мен атмосфераны дәл бақылау қажет.

• Тотығу процесі: Тотығу процесі кезінде кремний пластинкалары пластинаның бетінде жұқа кремний диоксиді қабатын қалыптастыру үшін жоғары температурада оттегінің әсеріне ұшырайды. 6 дюймдік SiC қайығы осы жоғары температура процесі кезінде пластинаның қауіпсіз және біркелкі ұсталуын қамтамасыз етеді, деформацияны немесе тураланбауды болдырмайды және оксид қабатының біркелкі өсуін қамтамасыз етеді.
• Диффузия процесі: Диффузия процесінде оның электрлік қасиеттерін өзгерту үшін кремний пластинасына қоспалар енгізіледі. SiC Boat жоғары температура мен диффузиялық ортаны дәл бақылау маңызды болып табылатын осы маңызды қадам кезінде пластинкаларға тұрақты және сенімді қолдау көрсетеді. Оның тамаша термиялық тұрақтылығы біркелкі қыздыруды қамтамасыз етеді, бұл қажетті қоспа профиліне қол жеткізу үшін өте маңызды.
• Басқа жоғары температура қолданбалары: Тотығу мен диффузиядан басқа, 6 дюймдік SiC қайығын жасыту, нитридтеу және эпитаксиалды өсу сияқты басқа жоғары температура процестерінде пайдалануға болады. Оның жоғары жылу өткізгіштігі және термиялық соққыға төзімділігі оны жартылай өткізгіш құрылғыларды жасаудың әртүрлі кезеңдері үшін әмбебап шешім етеді.

Басқа материалдардан артықшылығы

Кварц немесе графит сияқты дәстүрлі материалдармен салыстырғанда, кремний карбиді жартылай өткізгіштерді өндіруде айтарлықтай артықшылықтар береді. Кварц қайықтары термиялық соққыға және химиялық реакцияларға көбірек бейім, ал графит қайықтары газды шығарып, ластануды тудыруы мүмкін. Екінші жағынан, SiC қайықтары ластану, термиялық тұрақсыздық немесе деградация қаупінсіз қатал ортада өнімділігін сақтайды. Бұл 6 дюймдік SiC қайығын жоғары температурада жартылай өткізгішті өңдеу үшін сенімдірек және тиімді таңдау етеді.

Semicorex 6 дюймдік SiC қайық жартылай өткізгіштер өнеркәсібіндегі маңызды құрамдас болып табылады, ол кеңейтілген пластинаны өңдеу үшін қажетті тұрақтылықты, химиялық төзімділікті және термиялық өнімділікті қамтамасыз етеді. Оның жоғары жылу өткізгіштігі, химиялық коррозияға төзімділігі және ең аз ластану қаупі оны тотығу, диффузия және басқа да жоғары температуралы жартылай өткізгіш процестер үшін тамаша таңдау жасайды. 6 дюймдік SiC қайық ғылыми-зерттеу және тәжірибелік-конструкторлық жұмыстарда немесе ауқымды өндірісте қолданылғанына қарамастан, жартылай өткізгіш өндірісінде ең жоғары сапалы нәтижелерді қамтамасыз ету үшін қажетті өнімділік пен сенімділікті қамтамасыз етеді.