Үш жапырақты графит тигель

Semicorex үш жапырақты графит тигель (сонымен қатар үш бөліктен тұратын немесе сегменттелген графит тигель ретінде белгілі) жетілдірілген жартылай өткізгіш материалдарды термиялық өңдеудегі маңызды инженерлік жетістіктерді білдіреді. Өте жоғары таза изостатикалық графиттен дәлме-дәл өңделген бұл мамандандырылған ыдыс келесі буын кристалдарының өсуінің экстремалды термиялық және химиялық орталарына төтеп беру үшін мұқият әзірленген, әсіресе кремний карбиді (SiC) физикалық бу тасымалдау (PVT) және монокристалды кремний өндірісі арқылы сублимацияға арналған.

Дәстүрлі бір бөліктен тұратын монолитті тигельдерден айырмашылығы, үш жапырақты сегменттелген инновациялық архитектура жоғары механикалық рельефті қамтамасыз етеді, бұл тигельдің өсіп келе жатқан кристалдық матрицаны сындырмай немесе кернеусіз жылдам термиялық циклдар кезінде біркелкі кеңеюіне және жиырылуына мүмкіндік береді.

Өнімнің негізгі артықшылықтары және инженерлік шеберлік

1. Стрессті жеңілдететін үш жапырақты сәулет

Қолданбалы үш сегментті бөлінген дизайн жалпы саладағы ауырсыну нүктесін шешу үшін жасалған:термиялық кеңею сәйкессіздігі. Жартылай өткізгішті кристалданудың экстремалды қыздыру және салқындату фазаларында монолитті тигельдер жиі құрылымдық деформацияға немесе мерзімінен бұрын бұзылуға әкелетін локализацияланған кернеуді бастан кешіреді. Біріктірілген үш жапырақшалы құрылым термиялық кернеуді айтарлықтай төмендететін, тигельдің жарылу қаупін жойып, құрамдас бөліктің қызмет ету мерзімін ұзартып, басқарылатын микроскопиялық иілуді ұсынады.

2. Ультра жоғары таза көміртекті субстрат

Ластану жоғары өнімді жартылай өткізгіштердің өсуінің басты жауы болып табылады. Біздің үш жапырақты тигельдер күлді азайту және металл құрамын азайту үшін қатаң химиялық және термиялық тазарту процестерінен өтеді.минутына 5 беттен аз. Бұл пеш ішіндегі ерекше таза ортаны қамтамасыз етеді, балқыма немесе бу фазасына ұшпа қоспалардың таралуын болдырмайды және соңғы пластинаның электрлік тұтастығын сақтайды.

3. Термиялық профильдің ерекше біркелкілігі

Мінсіз монокристалды құрылымға қол жеткізу термиялық градиенттерді дәл бақылауды талап етеді. Таңдалған изостатикалық графит сортының жоғары жылу өткізгіштігі барлық үш сегментте жылдам, біркелкі жылу беруді қамтамасыз етеді. Бұл біркелкі термиялық профиль локализацияланған «ыстық нүктелерді» жояды, мінсіз тегіс қатаюды қамтамасыз етеді және өсіп келе жатқан кристалды құймадағы дислокация сияқты ақауларды азайтады.

4. Жетілдірілген беттік жабындар (қосымша)

Температурасы жоғары коррозиялық ортада 2000℃-тан асатын SiC кристалын тартудың қиын талаптарын қанағаттандыру үшін бұл тигельдерді мамандандырылған құралдармен жақсартуға болады.Тантал карбиді (TaC)немесеКремний карбиді (SiC)химиялық буларды тұндыру (CVD) жабындары. Бұл қорғаныс тосқауыл реактивті газ эрозиясына теңдесі жоқ қарсылықты қамтамасыз етеді және көміртегі газының шығуын болдырмайды.

Негізгі қолданбалар

Біздің үш жапырақты графит тигельдері дамыған өнеркәсіптік ыстық аймақтарда кеңінен қолданылады:

Кремний карбиді (SiC) кристалының өсуі: электр көліктерінде (EV) және жасыл энергия желілерінде қолданылатын кең ауқымды қуат электроникасы үшін өте маңызды.

Czochralski (CZ) және PVT әдістері: жоғары температуралы индукциялық немесе қарсылық пештерінде беріктігі жоғары сыртқы тірек қабық немесе тікелей оқшаулау ыдысы ретінде өте қолайлы.

Құрама жартылай өткізгіш синтезі: келесі гендік субстрат материалдарын жоғары тазалықпен өңдеу үшін қолайлы.

Жартылай өткізгіштер өнеркәсібіне арналған озық материал шешімдерінің жетекші жеткізушісі ретінде біздің өндірістік процестер толығымен автоматтандырылған жүйелер арқылы қатаң бақыланады. Әрбір үш жапырақты графит тигель қатаң бұзылмайтын сынақтан, дәлдік координаттарын өлшеуден және тазалықты қатаң тексеруден өтеді. Біз болжамды, жоғары қайталанатын термиялық өнімділікті қамтамасыз етеміз, бұл жартылай өткізгіш зауыттарға өнімділікті арттыруға, тоқтау уақытын азайтуға және меншіктің жалпы құнын төмендетуге мүмкіндік береді.