Тефлон кассеталары

Subicorex Teflon кассеталары - бұл қажетті химиялық ортада қолдануға арналған жоғары сапалы вафли-тасымалдаушылар, онда тазалық, химиялық төзімділік және жылу тұрақтылығы қажет. Жоғары тазалық политетрафлуороэтиленнен (PTFE) жасалған, бұл кассеталар жартылай өткізгіштермен кеңінен қолданылады, ылғалды игеру, химиялық тазалау және басқа да агрессивті химикаттардың әсері әдеттегідей. Олардың реактивті емес табиғаты оларды кремний вафли, шыны панельдер сияқты нәзік субстраттарды, шыны панельдер және басқа дәл компоненттерді өңдеуге өте ыңғайлы етеді.

Жартылай өткізгіш өндірісінің әр түрлі процестерінде литография, итеру және ион имплантациясы, кассеталар әр түрлі құрылғылар арасында вафлиді тасымалдау және беруде рөл атқарады. Әр түрлі технологиялық жабдықтар вафетиктерді дәл алуға және орналастыруға мүмкіндік беретін кассеталарға арналған әртүрлі интерфейске қойылатын көптеген талаптарға ие болуы мүмкін.

Материал және дизайн тұрғысынан, ыстыққа төзімді материалдардан, керемет механикалық қасиеттері, өлшемді тұрақтылыққа ие және берік, тұрақты, төмен саңылаулар, аз жауын-шашын және қайта өңделетін және өңделеді. Әр түрлі вафли өлшемдері, технологиялық түйіндер және процестер әртүрлі материалдарды қолданады. Жалпы материалдар PFA, PTFE, PP, PEEK, PEE, PES, PBT, PBT, PBT, PEI, PEI және т.б.

Тефлон кассеталары гидроторлу қышқылы, азот қышқылы, күкірт қышқылы және басқа да күшті коррозияны қолдана отырып, ортада жоғары химиялық тұрақтылықты ұсынады. Полипропилен немесе тот баспайтын болаттан жасалған дәстүрлі материалдардан айырмашылығы, PTFE деградалары жоқ; ісінбейді; Химиялық ванналардағы заттарды жоғалтпайды. Сондықтан жұмыс уақытында кепілдендірілген, сондықтан жоғары деңгейлі өндірістік желілер мен ультра таза орталар үшін кассеталардың сенімділігі. Оның беріктігі - техникалық қызмет көрсету қажеттілігі және ауыстырылатын жиілікті, осылайша ұзақ мерзімді пайдалану шығындарын азайтады.

Тефлон кассеталары өте жоғары жылу тұрақтылығын көрсетеді. Олар криогендік, сондай-ақ жоғары температуралы процестер үшін қолданылатын температурадан -200 ° C-қа + 260 ° C-қа дейін, сонымен қатар оңай емес. Тіпті жылытылатын кептіру камераларына немесе салқын химиялық ванналарға орналастырылған, кассеталар құрылымдық күштерін жоғалтпайды; Олар вафлиді өңдеу кезінде қауіпсіз ұстайтынын қамтамасыз ете отырып, олар бүлінбейді немесе сынбайды. Бұл температураның икемділігі жартылай өткізгіш пен мемсиканы жасау үшін өте маңызды, бұл бақылауды және біркелкілікке ықпал етеді.

Teflon кассетерлерінің бірдей маңызды сипаттамасы - оның инертті, жабыспайтын беті. PTFE ерекшеліктері бөлшектер мен химиялық қалдықтардың адсорбциясына жол бермейді, сондықтан сіздің бөлмеде ластану қаупін азайтады. Мұны тез, кебуге мүмкіндік беретін тегіс, кебуге мүмкіндік береді, бұл тез, тазартқыш нәтижелер және цикл уақыттарының нәтижесі болуы керек. Жартылай өткізгішті өңдеуде, мұнда тіпті микроскопиялық ластаушы заттардан туындауы мүмкін, бұл тазалық пен химиялық инерстік деңгейі міндетті болып табылады.

Әрбір кассета тығыз мөлшерде төзімділікке, жылжытылған және араласып, сұйықтыққа салынып, аралыққа кепілдік беріледі. Олардың оңай жасалған пішіні химиялық валюта бағамын тездетеді және тазалауды жақсартады немесе вафли бетіне біркелкілікті жақсартады.  Кассеталар стандартты өлшемдерде, 6 дюймдік, 6 дюймдік және 8 дюймдік вафли, арнайы субстрат өлшемдері, ұяшықтарды есептеу және пайдалану талаптарына сәйкес келеді.

Автоматтандырылған ылғалды орындықтармен және роботты вафли жүйелерімен үйлесімділікке арналған, Teflon кассеталары көптеген жартылай өткізгіштік қондырғыларға оңай енеді. Олардың берік құрылыс және тазалық бөлмесі Аяқталуы ИСО сертификатталған ортаның қатаң талаптарына сәйкес келеді. Барлық кассеталар мұқият тексеріліп, озық микроэлектроника өндірісіне қажетті тазалық стандарттарына сай, ультра таза суда алдын-ала тазаланады. Сәйкестік және толық материалдық бақылау сертификаттары сапа кепілдігі туралы хаттамалардың сақталуын қамтамасыз ету үшін берілуі мүмкін.