TaC қаптамасы бар вафельді патрон

Semicorex TaC қаптамасының вафли патроны графиттік негізге қолданылатын тантал карбиді (TaC) жабыны арқылы жасалған. Материалдарды мұқият таңдау және мұқият инженерия бұл өнімнің өнеркәсіптегі маңыздылығын көрсетеді.

Графитке TaC жабынын қолданудың басты артықшылығы осы материалдардың термиялық кеңею қасиеттерінде жатыр. Термиялық кеңею коэффициенті (CTE) қыздырылған кезде материалдың қаншалықты кеңейетінін өлшейді. Жартылай өткізгіштерді өндіруде жабынның CTE-нің субстратқа сәйкес келуі өте маңызды. Елеулі сәйкессіздік кернеулерге және жабынның ақырында бұзылуына әкелуі мүмкін. CTE TaC-қа өте жақын графит материалын таңдау арқылы біз TaC жабынының графит субстратына қатты жабысуын қамтамасыз етеміз. Бұл үйлесімділік қабаттасу қаупін азайтады және TaC қаптамасының вафли патронының қызмет ету мерзімін ұзартады.

TaC жабыны эпитаксистік процестің қайталанатын циклдері кезінде дәл және тұрақты өнімділікті сақтау үшін өте маңызды болып табылатын TaC қаптамасының вафли патронының қаттылығы мен тозуға төзімділігін арттырады. TaC жоғары балқу температурасы TaC қаптамасының вафли патронының жартылай өткізгішті жасау кезінде кездесетін экстремалды температураларға нашарламай төтеп беруін қамтамасыз етеді. Сонымен қатар, TaC химиялық инерттілігі негізгі графитті коррозиялық газдардан және эпитаксия процесінде қолданылатын басқа реактивті заттардан қорғайды.

Іс жүзінде бұл материал қасиеттері өнімділікті айтарлықтай жақсартуға әкеледі. TaC қаптамасының вафли патронының жақсартылған беріктігі мен тұрақтылығы аз ауыстыруды қажет етеді, тоқтау уақытын және техникалық қызмет көрсету шығындарын азайтады. Жоғары термиялық тұрақтылық жартылай өткізгіштерді өндіруде жоғары өнімділік көрсеткіштеріне ықпал ете отырып, ең қиын жағдайларда да тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді.

Semicorex TaC қаптамасының вафельді патроны алдыңғы қатарлы материалдар инженериясын және ойластырылған дизайнды көрсетеді. Тантал карбиді мен графиттің қасиеттерін біріктіре отырып, біз жартылай өткізгіш эпитаксистік процестердің қатаң талаптарына жауап беретін өнімді әзірледік. Оның жоғары беріктігі, термиялық тұрақтылығы және химиялық төзімділігі оны жартылай өткізгіштерді өндіру өнеркәсібінде таптырмас құрамдас етеді. Бұл инновациялық тәсіл өнімділік пен сенімділікті арттырып қана қоймай, сонымен қатар тұрақты және үнемді өндірістік операцияларға ықпал етеді. Жартылай өткізгіштер өнеркәсібі дамуын жалғастыруда, TaC Coating Wafer Chuck келесі ұрпақ технологияларының қиындықтарын шешуге дайын.