TaC қапталған вафельді рецептор

Semicorex TaC қапталған вафельді сіңіргіш жартылай өткізгішті эпитаксиалды (эпи) өңдеу үшін металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) пештерінде қолданылатын маңызды компонент болып табылады. Бұл арнайы дөңгелек қабылдағыш жоғары сапалы графит материалынан жасалған және бірегей тантал карбиді (TaC) жабыны бар.

TaC жабынының негізгі мақсаты - жартылай өткізгішті дайындау процестерінің қиын жағдайлары кезінде TaC қапталған вафельді қабылдағыштың өнімділігі мен беріктігін арттыру. Тантал карбиді өзінің ерекше қаттылығымен, жоғары балқу температурасымен және тозуға және коррозияға төзімділігімен танымал. Бұл қасиеттер TaC қапталған вафельді қабылдағышты MOCVD пешінде болатын химиялық реакциялар мен физикалық кернеулерден негізгі графит қабылдағышты қорғау үшін тамаша таңдау жасайды.

TaC қапталған вафли қабылдағыш пластиналардағы жұқа қабықшалардың тұндырылуын жеңілдету арқылы жартылай өткізгіш материалдардың эпитаксиалды өсуінде маңызды рөл атқарады. Оның жоғары температураға және қатал химиялық ортаға төтеп беру қабілеті жартылай өткізгіш құрылғыларды дәл және сенімді өндіруге қол жеткізу үшін өте маңызды.

Графит өзегі және тантал карбиді жабыны бар TaC қапталған вафельді қабылдағыш MOCVD процесінде өсірілген жартылай өткізгіш қабаттардың қайталануы мен сапасына ықпал ете отырып, жылуды біркелкі және біркелкі бөлуді қамтамасыз етеді. Бұл жетілдірілген материал комбинациясы оны заманауи электронды құрылғылар өндірісінің қатаң талаптарына жауап беретін жартылай өткізгіштерді өндіру үшін сенімді және берік шешім етеді.