TaC қапталған түтік

Semicorex TaC қапталған түтіктің күші негізгі материал мен арнайы жабынның синергетикалық үйлесімінде жатыр:

Жоғары таза изотропты графит негізі:TaC қапталған түтіктің өзегі тамаша жылу өткізгіштігімен, төмен жылу кеңеюімен және термиялық соққыға тән тұрақтылығымен танымал ультра жоғары таза изотропты графиттен жасалған. Бұл іргетас жартылай өткізгіштерді өңдеуге тән жылдам температура ауытқуларына және жоғары термиялық жүктемелерге төтеп бере алатын берік және тұрақты платформаны қамтамасыз етеді.

Тантал карбиді---Төзімділік пен инерттіліктің қалқаны:CVD-қолданылатын TaC жабыны графит астарын түрлендіреді, ерекше қаттылық, тозуға төзімділік және химиялық инерттілікті береді. Бұл қорғаныс қабаты жартылай өткізгішті жасау кезінде кездесетін агрессивті газдарға, плазмаларға және реактивті түрлерге қарсы тосқауыл ретінде әрекет етіп, түтіктің құрылымдық тұтастығы мен ұзақ қызмет ету мерзімін қамтамасыз етеді.

Бұл бірегей материал комбинациясы жетілдірілген жартылай өткізгіш өндірісі үшін маңызды болып табылатын бірқатар артықшылықтарға айналады:

Температураның теңдессіз төзімділігі:TaC барлық белгілі материалдардың ең жоғары балқу нүктелерінің біріне ие, тіпті кремний карбидінен де (SiC) асып түседі. Бұл экстремалды температураға төзімділік TaC қапталған түтікке 2500°C-тан асатын температураны қажет ететін процестерде сенімді жұмыс істеуге мүмкіндік береді, бұл талап етілетін жылу бюджеттері бар келесі буын жартылай өткізгіш құрылғыларды өндіруге мүмкіндік береді.

Критикалық процесті басқаруға арналған ультра жоғары тазалық:Жартылай өткізгіштерді өндіруде таза технологиялық ортаны сақтау маңызды. Тазалығы жоғары графитті пайдалану және мұқият CVD жабыны процесі TaC қапталған түтіктен минималды газдың шығуын немесе бөлшектердің түзілуін қамтамасыз етеді, бұл сезімтал пластиналар беттері мен құрылғының өнімділігіне нұқсан келтіруі мүмкін ластануды болдырмайды.

Айнымас химиялық төзімділік:TaC қапталған түтіктің химиялық инерттілігі тоттандырғыш газдардың, реактивті иондардың және плазмалық орталардың кең диапазонына ерекше төзімділікті қамтамасыз етеді, әдетте жартылай өткізгіш процестерде, мысалы, өңдеу, тұндыру және күйдіру. Бұл сенімді химиялық тұрақтылық түтіктің қызмет ету мерзімін ұзартады, техникалық қызмет көрсету талаптарын азайтады және меншіктің жалпы құнын төмендетеді.

Ұзартылған қызмет мерзімі үшін жақсартылған механикалық төзімділік:TaC жабыны мен графит субстраты арасындағы күшті байланыстыру күші, TaC қапталған түтікке тән қаттылықпен біріктірілген, тозуға, эрозияға және механикалық кернеуге ерекше төзімділікті қамтамасыз етеді. Бұл жақсартылған төзімділік қызмет ету мерзімін ұзартады және ауыстыру үшін тоқтау уақытын азайтады, процестің тиімділігі мен өткізу қабілетін арттырады.