SiC Dummy Wafer

SiC Dummy Wafer негізгі сипаттамалары

Жан-жақты сынақтар мен эксперименттер

SiC Dummy пластиналары жартылай өткізгішті өндірудің әртүрлі кезеңдерінде маңызды болып табылады, бұл сынақ пен тәжірибе үшін қауіпсіз және сенімді құралды қамтамасыз етеді. Олар өндіріс процесінің басында маңызды болып табылады, бұл құнды өндірістік пластиналарды пайдаланбас бұрын барлық параметрлердің оңтайлы болуын қамтамасыз етеді.

Диффузия процестеріндегі қорғаныс

Диффузия процестерінде SiC Dummy Wafers стандартты кремний пластинкаларын қорғау арқылы шешуші рөл атқарады. Бұл қорғаныс функциясы зақымдану мен ластануды болдырмайды, осылайша бастапқы пластинаның тұтастығы мен сапасын сақтайды.

Өлшеудегі дәлдік

Бұл пластиналар пленка қалыңдығын, қысымға төзімділігін және шағылысу индексін өлшеу үшін мұқият пайдаланылады. Олар сонымен қатар пинболдың болуын анықтауда және литографиядағы үлгі өлшемдерін бағалауда маңызды рөл атқарады, бұл процесс дәлдігі мен ақауларды азайтуға айтарлықтай үлес қосады.

SiC Dummy Wafer артықшылықтары

Жоғары температурадағы газға төзімділік

SiC Dummy Wafers жоғары температуралық газ шабуылдарына тамаша қарсылық көрсетеді, бұл оларды төтенше жағдайларға жарамды етеді. Бұл тұрақтылық тіпті ең талап етілетін орталарда да тұрақты өнімділікті қамтамасыз етеді.

Химиялық тұрақтылық

SiC Dummy Wafers химиялық тұрақтылығы олардың әртүрлі коррозиялық заттарға деградациясыз төтеп беруге мүмкіндік береді. Бұл қасиет химиялық әсерлер кезінде пластинаның тұтастығын сақтау үшін өте маңызды.

Бөлшексіз бет

Оңай тазартылатын беті бар SiC Dummy Wafers ластанусыз ортаны сақтау үшін өте маңызды бөлшектер мәселесін азайтады. Бұл сипаттама жоғары сапалы нәтижелерді қолдайды және ақаулардың пайда болу қаупін азайтады.

Ұзақ мерзімді құрылымдық тұтастық

SiC Dummy пластиналары уақыт өте келе иілу мен деформацияға қарсы тұруға арналған. Олардың ұзақ мерзімділігі олардың бірнеше сынақ циклдерінде сенімді болып қалуын қамтамасыз етіп, жиі ауыстыру қажеттілігін азайтады.

Теңшелетін мүмкіндіктер

Semicorex өлшемі мен қалыңдығын теңшеуге мүмкіндік беретін әрбір SiC Dummy Wafer үшін пайдаланушы анықтайтын сериялауды ұсынады. Арнайы лазерлік гравюра жоғары тазалық пен сенімділікті қамтамасыз ете отырып, айқас ластану қаупін одан әрі жояды.

Барлық салалардағы қолданбалар

Жартылай өткізгішті өндіру

SiC Dummy пластиналары жартылай өткізгіштерді өндіруде, әсіресе өндірістің бастапқы кезеңдерінде өте маңызды. Олар кремний пластинкаларын ықтимал зақымданудан қорғайтын және процестің дәлдігін қамтамасыз ететін қорғаныс кедергісі ретінде қызмет етеді.

Сапаны қамтамасыз ету және тестілеу

Сапаны қамтамасыз етуде SiC Dummy Wafers жеткізуді тексеру және процесс формаларын бағалау үшін өте маңызды. Олар пленка қалыңдығы, қысымға төзімділік және шағылысу индексі сияқты параметрлерді дәл өлшеуге мүмкіндік береді, бұл өндіріс процестерін тексеруге ықпал етеді.

Литография және үлгіні тексеру

Литографияда бұл пластиналар үлгі өлшемін өлшеу және ақауларды тексеру үшін эталон ретінде қызмет етеді. Олардың дәлдігі мен сенімділігі жартылай өткізгіш құрылғының жұмыс істеуі үшін маңызды болып табылатын қажетті геометриялық дәлдікке қол жеткізуге көмектеседі.

Зерттеулер және әзірлемелер

ҒЗТКЖ орталарында SiC Dummy Wafers икемділігі мен ұзақ мерзімділігі кең тәжірибені қолдайды. Олардың қатаң сынақ шарттарына төзе білу қабілеті оларды жаңа жартылай өткізгіш технологияларды жасау үшін баға жетпес құнды етеді.