Эпитаксиалды өсуге арналған SiC қапталған RTP тасымалдаушы пластина

Эпитаксиалды өсуге арналған Semicorex SiC қапталған RTP тасымалдаушы пластинасы жартылай өткізгіш пластинаны өңдеу қолданбалары үшін тамаша шешім болып табылады. MOCVD арқылы графит, керамика және т.б. беттерінде өңделген жоғары сапалы көміртекті графитті қабылдағыштары мен кварц тигельдері бар бұл өнім пластинаны өңдеу және эпитаксиалды өсуді өңдеу үшін өте қолайлы. SiC жабыны бар тасымалдаушы жоғары жылу өткізгіштік пен тамаша жылу тарату қасиеттерін қамтамасыз етеді, бұл оны RTA, RTP немесе қатаң химиялық тазалау үшін сенімді таңдау етеді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Эпитаксиалды өсуге арналған SiC қапталған RTP тасымалдаушы пластина тұндыру ортасының ең қиын жағдайларына төтеп беруге арналған. Жоғары жылу және коррозияға төзімділігімен эпитаксистік сезімталдық эпитаксиалды өсу үшін тамаша тұндыру ортасына ұшырайды. Тасымалдағыштағы жұқа SiC кристалды жабыны тегіс бетті және химиялық тазалауға қарсы жоғары төзімділікті қамтамасыз етеді, ал материал жарықтар мен қабаттасуды болдырмау үшін жасалған.
Эпитаксиалды өсуге арналған SiC қапталған RTP тасымалдаушы пластинасы туралы көбірек білу үшін бүгін бізге хабарласыңыз.

Эпитаксиалды өсуге арналған SiC қапталған RTP тасымалдаушы пластинасының параметрлері

CVD-SIC жабынының негізгі сипаттамалары
SiC-CVD қасиеттері
Кристалл құрылымы	FCC Î² фазасы
Тығыздығы	г/см³	3.21
Қаттылық	Викерс қаттылығы	2500
Астық мөлшері	Î¼м	2~10
Химиялық тазалық	%	99.99995
Жылу сыйымдылығы	Дж·кг-1 ·К-1	640
Сублимация температурасы	℃	2700
Жіңішке күш	МПа (RT 4-нүкте)	415
Young's модулі	Gpa (4pt иілісі, 1300â)	430
Термиялық кеңею (C.T.E)	10-6К-1	4.5
Жылу өткізгіштік	(Вт/мК)	300

Эпитаксиалды өсуге арналған SiC қапталған RTP тасымалдаушы пластинасының ерекшеліктері

Жоғары таза SiC қапталған графит
Жоғары ыстыққа төзімділік және жылу біркелкілігі
Тегіс бет үшін жұқа SiC кристалы қапталған
Химиялық тазалауға төзімділігі жоғары
Материал жарықтар мен деламинация пайда болмайтындай етіп жасалған.

Hot Tags: Эпитаксиалды өсуге арналған SiC қапталған RTP тасымалдаушы пластина, Қытай, өндірушілер, жеткізушілер, зауыт, теңшелген, жаппай, жетілдірілген, берік