SiC қапталған графит науа

SiC қапталған графит науасы Si субстраттарына дәл температураны бақылауды және кремний эпитаксиалды өсу процесінде тұрақты қолдауды қамтамасыз ететін озық жартылай өткізгіш бөлік болып табылады. Semicorex әрқашан тұтынушыларға жоғары сапалы жартылай өткізгіштерді өндіруге қажетті негізгі құрамдас шешімдерді ұсына отырып, тұтынушылардың сұранысына басымдық береді.

Сұрау жіберу

Өнім Сипаттамасы

Эпитаксиялық жабдықтың негізгі құрамдас бөлігі ретіндеSiC қапталған графит науа, эпитаксиалды қабаттың өсуінің өндіріс тиімділігіне, біркелкілігіне және ақаулық жылдамдығына тікелей әсер етеді.

Графитті тазарту, дәл өңдеу және тазарту арқылы графит субстратының беті бөлшектердің ластану қаупін сәтті болдырмай, тамаша тегістік пен тегістікке қол жеткізе алады. Химиялық буларды тұндыру арқылы графит субстратының беті реактивті газбен химиялық реакцияға түсіп, тығыз, кеуексіз және біркелкі қалың кремний карбиді (SiC) жабындысын жасайды. Субстратты дайындаудан жабын өңдеуге дейін бүкіл өндіріс процесі жартылай өткізгіштерге жарамды тазалық стандарттарын қанағаттандыратын 100-сыныптағы таза бөлмеде жүзеге асырылады.

Жоғары тазалығы төмен қоспасы бар графит пен SiC материалдарынан жасалған SiC қапталған графит науасы тамаша жылу өткізгіштікке және жылу кеңеюінің төмен коэффициентіне ие. Ол SiC қапталған графит науасына эпитаксиалды қабаттың өсу сапасын жақсарту үшін жылуды жылдам және біркелкі беруге мүмкіндік беріп қана қоймайды, сонымен қатар термиялық кернеуден жабынның төгілу немесе крекинг қаупін тиімді төмендетеді. Сонымен қатар, біркелкі және тығыз SiC жабыны жоғары температураға, тотығуға және коррозияға төзімді, жоғары температура мен коррозиялық газ жағдайында ұзақ уақыт бойы тұрақты жұмысты қамтамасыз етеді.

SiC қапталған графит науасының металл-органикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) жабдығымен үйлесімділігі жоғары. Ол әр түрлі технологиялық параметрлер мен жабдық талаптарына бейімделу үшін мұқият өлшемде және жобаланған. Semicorex әрқашан біздің қымбатты клиенттерімізге SiC қапталған графит науаның әртүрлі өлшемдеріне, жабын қалыңдығына және бетінің кедір-бұдырлығына қойылатын талаптарын дәл қанағаттандыру үшін кәсіби бейімделген қызметтерді ұсынуды талап етеді.