Subicorex жартылай өткізгіш графит жылытқышы жоғары сапалы изостатикалық графиттен жасалған жоғары тиімді жылыту құрылғысы. Ол жартылай өткізгіш өндірісінің негізгі процестерінде, мысалы, кристалды өсу пештерінің жылу аймағында, эпитаксиальды өсу процесінде, иондық имплантация жабдықтарымен, плазмалық жабдықтармен және жартылай өткізгіш құрылғыны өндірумен айналысады.
Жартылай өткізгішГрафит жылытқышыжоғары тазалық изостатикалық графигінен жасалған озық жылыту құрылғысы. Оның электр өткізгіштігі және жылу өткізгіштігі Жартылай өткізгіш материалдарды өсіру және өңдеу үшін температураны бақылауды және жылудың біркелкі бөлінуін қамтамасыз етеді. Электр тогы жылытқыштан өткен кезде, ол графиттің ішкі электр кедергісін жеңіп, электр энергиясын жылуға айналдырады, графит температурасын көтеріп, қыздыруға қол жеткізеді. Температураның дәлдігін электр тогының қарқындылығын және жылытқыштың төзімділігін реттеу арқылы жеткізуге болады.
Subicorex мұқият таңдалған жоғары тазалықизостатикалық графитТамаша термиялық өткізгіштікке ие, оны жылу аймағының әр бұрышына тез және біркелкі өткізуге мүмкіндік береді, қызып кетудің әр бұрышына, локализацияланған қызып кетудің алдын алады.
Айта кету керек, өте жоғары температуралық жағдайда, тіпті жоғары температуралық доблика, жоғары тазалық изостатикалық графигі тұрақты физикалық және химиялық сипаттамаларды сақтайды. Интенсивті жылу әдетте материалдарды еріту, деформациялау немесе тотықтыруға мәжбүр етеді, бірақ графиттің бұл түрі сол өзгерістерге қарсы тұра алады. Бұл жартылай өткізгіш өндірісіндегі жоғары температуралық процестер үшін, оның ішінде бір кристалды кремний тарту және кремний карбидінің кристалды өсуіне байланысты.
Айта кету керек, өте жоғары температуралық жағдайда, тіпті жоғары температуралық доблика, жоғары тазалық изостатикалық графигі тұрақты физикалық және химиялық сипаттамаларды сақтайды. Интенсивті жылу әдетте материалдарды еріту, деформациялау немесе тотықтыруға мәжбүр етеді, бірақ графиттің бұл түрі сол өзгерістерге қарсы тұра алады. Бұл жартылай өткізгіш өндірісіндегі жоғары температуралық процестер үшін, оның ішінде бір кристалды кремний тарту және кремний карбидінің кристалды өсуіне байланысты.
Сонымен қатар, жартылай өткізгіш графит жылытқышы ұзақ қызмет ету мерзіміне ие. Жоғары тазалық изостатикалық графигі оларды механикалық беріктігімен, қатты коррозияға төзімділігі және керемет термиялық кедергіні ұсынады. Олар жоғары температура және химиялық коррозия сияқты факторларға аз сезімтал, олар кеңейтілген қызмет көрсетуге мүмкіндік береді.