Жартылай өткізгішті өңдеуге арналған Semicorex берік фокус сақиналары жартылай өткізгіштерді өңдеуде қолданылатын плазмалық өңдеу камераларының төтенше орталарына төтеп беруге арналған. Біздің фокус сақиналарымыз тығыз, тозуға төзімді кремний карбиді (SiC) жабыны бар жоғары таза графиттен жасалған. SiC жабыны жоғары коррозияға және ыстыққа төзімділікке, сондай-ақ тамаша жылу өткізгіштікке ие. Фокус сақиналарымыздың қызмет ету мерзімін жақсарту үшін химиялық бу тұндыру (CVD) процесін пайдаланып, графитке жұқа қабаттарда SiC жағамыз.
Ары қарай оқуСұрау жіберу