Кеуекті глиноземді вакуумдық патрон

Semicorex кеуекті глиноземді вакуумдық патрон - вакуумды сору принципі арқылы өнімдерді бекітуге арналған тасымалдаушы платформа, оның тасымалдау вакуумының бөлігі әдетте алюминий тотығы кеуекті керамикалық пластина болып табылады. Кеуекті керамикалық пластина негіздегі шұңқырлы тесікке салынған, оның периметрі негізге бекітілген және тығыздалған, ал негіз тығыз керамикалық немесе металл материалдармен өңделеді. Жұмыс ортасындағы минус қысымда патрон ауаны алу үшін керамикалық пластинаның ішіндегі кеуекті құрылым арқылы вакуумдық сорғыға қосылады, бұл пластинаның астындағы аймақ сыртқы атмосфералық қысымнан әлдеқайда төмен вакуумдық аймақты құрайды. Күшті қысым айырмашылығының әсерінен вафли патронның бетіне мықтап бекітіледі. Әдетте, пластинаның астындағы вакуумдық дәреже неғұрлым жоғары болса, патрон мен дайындама арасындағы адгезия соғұрлым тығыз болады және адсорбциялық күш соғұрлым күшті болады.

Жартылай өткізгіштер мен микроэлектроника салаларында дәлдік жай ғана талап емес, бұл стандарт. Кеуекті глиноземді вакуумдық патрон (керамикалық вакуумдық патрон деп те аталады) литография, тексеру және кесу процестері кезінде нәзік субстраттарды біркелкі, бұзылмайтын соруды қамтамасыз етуге арналған маңызды құрамдас бөлік болып табылады.

Кеуекті алюминий тотығы вакуумдық патрон дегеніміз не?

Соруды жасау үшін өңделген ойықтарды пайдаланатын дәстүрлі металл патрондардан айырмашылығы, кеуекті керамикалық патрон арнайы микроскопиялық тесік құрылымын пайдаланады. Бұл вакуумдық қысымды дайындаманың бүкіл бетіне біркелкі бөлуге мүмкіндік береді, бұл ойық конструкцияларда жиі байқалатын «шұңқырдың» немесе деформацияның алдын алады.

Негізгі техникалық сипаттамалар

Бұл компоненттердің өнімділігін түсіну үшін жоғары таза Al2O3 материалының қасиеттерін қарастырамыз:

Неліктен дәстүрлі материалдардан гөрі кеуекті алюминий тотығын таңдау керек?

1. Жоғары тегістік және біркелкілік

Микроскопиялық кеуек құрылымы вакуумдық күштің жанасу аймағының 100% қолданылуын қамтамасыз етеді. Өнеркәсіптік деректерге сәйкес, біркелкі сору дәстүрлі ойығы бар тот баспайтын болаттан жасалған патрондармен салыстырғанда пластинаның кернеуін 40%-ға дейін төмендетеді.

2. Жоғары термиялық тұрақтылық

Алюминий тотығы керамика төмен жылулық кеңею коэффициентіне (CTE) ие. Жоғары температурада өңдеу немесе лазер негізіндегі тексеру кезінде патрон фокус тереңдігінің тұрақты болуын қамтамасыз ете отырып, өз өлшемдерін сақтайды.

3. ESD және ластануды бақылау

Тазалығы жоғары алюминий тотығы химиялық инертті және табиғи түрде коррозияға төзімді. Сонымен қатар, кейбір орталарда жартылай өткізгіштердің шығымдылығының жоғалуының 25%-ға жуығына жауап беретін Электростатикалық разрядтың (ESD) алдын алу үшін арнайы «Қара алюминий тотығы» немесе антистатикалық жабындарды қолдануға болады.

Жоғары технологиялық өндірістегі негізгі қолданбалар

Жартылай өткізгішті пластинаны өңдеу

Негізгі қолдану жағдайы фотолитография және вафельді зондтау болып табылады. Төтенше тегістік (<2 мкм) пластинаның жетілдірілген оптикалық жүйелердің тар тереңдік өрісінде тұруын қамтамасыз етеді.

Жұқа қабықшалы күн батареяларын өндіру

Икемді немесе өте жұқа субстраттар үшін дәстүрлі вакуумдық арналар физикалық зақым келтіруі мүмкін. Кеуекті керамиканың «тыныс алатын» беті нәзік ауа жастықшасы немесе сорғыш тақта ретінде әрекет етеді, нәзік қабаттарды қорғайды.

Оптикалық линзаларды тегістеу

Кез келген діріл немесе біркелкі емес қысым оптикалық аберрацияларға әкелетін дәлдікпен тегістеу кезінде линзаларды ұстау үшін кеуекті алюминий оксиді пайдаланылады.

Жиі қойылатын сұрақтар (ЖҚС)

1-сұрақ: Кеуекті алюминий тотығы шаңсорғышты қалай тазалайсыз?

A: Соруды сақтау үшін тазалау өте маңызды. Дейондандырылған суда немесе арнайы еріткіштерде ультрадыбыстық тазалауды пайдалануды ұсынамыз. Алюминий оксиді химиялық тұрақты болғандықтан, ол қышқыл немесе сілтілі тазартқыштардың көпшілігіне төтеп бере алады. Кеуектердегі ылғалды кетіру үшін патрон құрғақ күйде пісірілгеніне көз жеткізіңіз.

2-сұрақ: Кеуек өлшемін арнайы субстраттар үшін теңшеуге бола ма?

A: Иә. Кішірек кеуектер (шамамен 10мкм - 20мкм) «басып шығарудың» алдын алу үшін ультра жұқа үлдірлер үшін жақсырақ, ал үлкен кеуектер ауыр немесе кеуекті дайындамалар үшін жоғары ауа ағынын ұсынады.

3-сұрақ: Ең жоғары жұмыс температурасы қандай?

A: Керамиканың өзі 1500℃-ден асатын температураға төтеп бере алатынымен, вакуумдық патрон жинағы (нығыздағыштар мен корпустарды қоса) әдетте байланыстыру әдісіне байланысты 250℃-ден 400℃-ге дейін бағаланады.