Кеуекті алюминий Чактар

Subicorex кеуекті алюминий Чактар ​​- бұл ең нәзік вафли үшін жасалған. Олардың кеуекті дизайны Chuck бетіне тұрақты вакуумды таратуды қамтамасыз етеді, бұл локализацияланған стресстен төмендетілген, және SPECS-тің азаюын қамтамасыз етеді, ал Spects жиырылу мен сынудың алдын алуға көмектеседі. Механикалық қысқыш (қатты немесе басқа) механикалық желінің әсерінен тиімді емес, өйткені мафориялық стресстен тыс, сонымен қатар, вафлиді қауіпсіз бекіту, өйткені микропросивті құрылым тозудың алдын алады және жұмсақ ұстауға мүмкіндік береді. Бүкіл Чак бетіне біркелкі адсорбциялау қажеттілігі, әсіресе, жоғары дәлдікті өңдеу кезінде және жоғары дәлдікті өңдеу кезінде аз стресстен асатын үлкен және жұқа болып табылатын вафли үшін өте маңызды.

35-40% кеуектілікке оңтайландырылған, Чак вафлиді технологиялық күштерге қарсы тұру үшін жеткілікті механикалық күшті қамтамасыз ету үшін ауаны эвакуациялауға қызмет ететін қосылатын аралық тері тесігін дамытады. Бұл вакуумдық ұстау күші бар, тіпті тез арада мықтылықта, күрделі процестер тізбегін орындау кезінде тұрақты болып қалады. Микроорсорлы желідегі адсорбция вакуумдық жүйенің қысымындағы айырмашылықтарды жасау арқылы көбірек тұрақтылықпен қамтамасыз етеді.

Қара алюминий (Al₂o₃), өзі түпкілікті материал болып табылады, өйткені ол қатты, тозуға төзімді және химиялық түрде инертті. Бұл кез-келген рөлдік бетті нашарлатпайды және вафлидің қайталанған циклдері арқылы (орналастыру / вакуумдық адсорбция / салқындату) әсер етпейді. Қаракөрсеткен айыпӨлшем тұрақты, сондықтан процесс (жылыту және салқындату) немесе қоршаған ортада табиғи температураның өзгеруіне қарамастан өзгермейді.

Химиялық тұрақтылық - қара түлектердің тағы бір басты артықшылығы. Чак құрылымдық тұтастығын бұзбай агрессивті тазалау, плазмалар және этчингтерде жұмыс істей алады. Оның инерстері вафли бетінің ластануын болдырмайды, жоғары технологиялық тазалық пен тазалық салатын стандарттарға сәйкестігін қамтамасыз етеді.

Сондай-ақ, микропросомдық құрылым жұқа және сынғыш вафлиге стресстің концентрациясын жеңілдететін қолдау бетін ұсынады. Тандемде бет әлпеті және тегіс қабаты бар тегіс, кеуекті алюминий Чактар ​​вафлидің тұтастығына нұқсан келтіретін микро-жарықтар мен сызаттардың пайда болуын азайтады.

Алюминий керамикаКеремет қаттылық, жоғары механикалық беріктік, жоғары жылу коэффициенті, кеңею коэффициенті және керемет жылу тұрақтылығы, оны дәл жартылай өткізгішті қолдану үшін практикалық материал жасайды. Сондай-ақ, оның химиялық инерстері қышқылдармен, сілтілермен және плазмаға қарсы тұруы мүмкін, сондықтан тозуға төзімді қасиеттер, ал тозуға қарсы қасиеттер ұзаққа созылуы мүмкін, бұл артықшылықтары глиноземді микро вакуумдық чактар ​​үшін таңдау материалын жасайды және жұмыстың дұрыстығы мен болжамдылығын қамтамасыз етеді.

Қорытындылай келе, кеуекті алюминий Чактар ​​вафлидің біркелкі және тірі қалуы үшін жасалған. Оның микропросорлы қара түлек құрылымы тіпті вакуумдық адсорбцияны (біркелкілік) ұсынады, ал механикалық кернеуді азайту және вафли залалын азайту. Чак ретінде, керемет жылу, механикалық және химиялық қасиеттермен бірге едәуір және оңтайлы кеуекті, ватфердің қауіпсіздігін, құндылығын және дұрыстығын оңтайландыруға көмектеседі. Кеуекті алюминий Чактар ​​ұсына алатын керемет, біркелкі және қауіпсіз пайдаланудың керемет үйлесімі, өндірушілердің сирек кездесетін және ерекше.