Subicorex PFA вафли-тасымалдаушылары - бұл өте таза, химиялық төзімді ерітінді, химиялық төзімді ерітінді, ультра-таза ортада жартылай өткізгіш вафлиді қауіпсіз өңдеуге және тасымалдауға арналған. Жетекші табалар мен OEMS, Subicorex дәйекті сапалы, жылдам қорғасын уақыттары бар, ал толық теңестірілген тасымалдаушыларды береді және алдыңғы қатарлы жартылай өткізгіш өндірісінің дамып келе жатқан талаптарына жауап береді. *
Subicorex PFAВафли тасымалдаушыларУльтра таза ортада жартылай өткізгіш вафлиді қауіпсіз өңдеуге, сақтауға және тасымалдауға арналған жоғары сапалы тасымалдаушылар. Жетілдірілген жартылай өткізгіштер өндірісі PFA вафли тасымалдаушыларының дұрыс емес химиялық тұрақтылықты, жылу тұрақтылығына және бөлшектерді бақылауды қорытынды тестілеуге дейін өндіру кезінде бөлшектердің тұтастығынан және тазалығына ұсынады.
Жаңа PFA-дан жасалған, бұл вафли тасымалдаушылар, әдетте, қатты қышқылдар, негіздер және еріткіштер сияқты қатал химиялық заттарға үлкен қарсылық көрсетеді. PFA-ның өте төмен иондық сілтісізденуі және иісі бар қасиеттері оны маңызды тазартатын маңызды тапсырмалар үшін қолайлы материалды жасайды, мұнда ластаушы заттардың аз мөлшері құрылғының өнімділігіне әсер етуі мүмкін.
PFA вафли тасымалдаушылары таза бөлмелерде жасалған және 1-класспен жұмыс істейді (ISO CLASS 3) Таза бөлме стандарттары. PFA тегіс, жабыспайтын беті бөлшектердің пайда болуын және желімділігін азайтады, қалдықтардан немесе бөлшектердің ластануын болдырмайды. Сонымен қатар, PFA гидрофобты табиғаты дымқыл өңдеу кезеңдерінде мұқият шаю және тез кептіруді жеңілдетеді, әрі қарай ластану қаупін азайтады.
Әр PFA вафли тасымалдаушысы вафлиді жылжыту кезінде қауіпсіз және тіпті қолдауды қамтамасыз ету үшін жасалған. Әйтілген слоттар вафлиге аздап тиіп, стрессті азайтып, вафлидің шеттеріне аулауға көмектеседі. Тасымалдаушылар 100 мм, 150 мм, 200 мм және 300 мм диаметрлі вафлидің әртүрлі мөлшеріне сәйкес келеді. Қосымша шыңдар мен тығыз құлыптау жолдары бұтақтарға соққы, діріл және қоршаған ортаға әсер етеді.
PFA-ның 260 ° C-қа дейін жақсы жылу кедергісіне байланысты ол диффузия, тотығу және химиялық будың CVD сияқты жоғары температуралық процестермен үйлесімді. Тасымалдаушы бірнеше рет жылу велосипедіндегі құрылымдық тұтастығын сақтайды, сондықтан екі партияға да, автоматтандырылған өңдеу орталарына да жарамды.
PFA вафли тасымалдаушылары вафлиді тазарту, дымқыл лете, фотолитография CMP және IC өндірісіндегі басқа да алдыңғы және артқы процестерде кең қосымшалар бар. Олардың берік дизайны мен тазалығы оларды FABS, R & D зертханаларында қолдануға өте ыңғайлы етеді және ластануды бақылаудың қаттылығын қажет ететін OEM жабдығы.
ТеңшелгенPFA вафли тасымалдаушыларыАвтоматтандырылған талаптарды, оның ішінде роботты өңдеу, трек жүйелері және тік / көлденең тасымалдау үшін әзірленуге болады. Тасымалдаушылар стандартты вафли жабдықтарымен және жартылай өткізгіштермен толықтай сәйкес келеді.