PECVD күн графиті қайығы

SemicorexPECVD күн графиті қайықтаржоғары тазалықпен дәлдікпен жасалғанизостатикалық графит. Semicorex компаниясының әрбір PECVD күн графиті қайықтары жоғары температуралы плазмалық орталарда тұрақты өнімділікті қамтамасыз ету үшін дәл өңдеуден, өлшемді тексеруден және электрлік өнімділік сынағынан өтеді.

PECVD өңдеу кезінде PECVD күн графиті қайығы кремний пластинкаларын PECVD реакция камерасына апарады және РЖ қуат көзіне қосылған электрод ретінде қызмет етеді. Көршілес қайық плиталары арасында айнымалы кернеу қолданылған кезде электр өрісі орнатылады. Электр өрісінің әсерінен реактивті газдар (силан SiH₄ және аммиак NH₃ сияқты) жарқыраудан өтіп, плазма түзеді. Плазмадағы иондар мен бос радикалдар кремний (Si) және азот (N) иондарын түзе отырып, прекурсорлық газдарды ыдыратады. Бұл иондар кремний нитриді (Si₃N₄) молекулаларын түзу үшін қосылып, содан кейін кремний пластинкасының бетіне жұқа қабықшалар түзеді.

1. Ерекше термиялық тұрақтылық

Термиялық кеңею коэффициенті кремний пластинкаларына жақын, SemicorxPECVD күн графиті қайыққыздыру кезінде шамалы өлшемдік өзгерістерге ұшырайды, бұл пластинаның термиялық кернеуден туындаған зақымдануын сенімді түрде болдырмайды.

2. Жоғары электр және жылу өткізгіштік

Semicorex PECVD күн графиті қайықтары радиожиілік тоғының жылдам өткізілуін және біркелкі электр өрісінің таралуын қамтамасыз ететін тамаша электрөткізгіштікке ие, бұл тұрақты плазманы қалыптастыру және кремний пластинасын біркелкі тұндыру үшін пайдалы. Сонымен қатар, оның жоғары жылу өткізгіштігі жылдам салқындату мен қыздыруды жеңілдетеді, өндіріс тиімділігін арттырады, сонымен қатар жергілікті қызып кетудің тұндыру сапасына әсер етуіне жол бермейді.

3. Күшті химиялық тұрақтылық

Жоғары сапалы материалды пайдаланудың арқасында Semicorex PECVD күн графиті қайық реактивті газдармен және плазмамен реакцияға бейім емес. Бұл сипаттама графит қайығында коррозия, деформация немесе қоспа тұндыруынан туындаған электр өрісінің біркелкі таралуын айтарлықтай болдырмайды, осылайша тұндыру процесінің тұрақтылығын және кремний пластинкаларының бетінің сапасын қамтамасыз етеді.

4. Керемет механикалық беріктік

Өзінің керемет механикалық беріктігімен Semicorex PECVD күн графиті қайығы үлкен көлемді вафельді жүктердің салмағын оңай көтере алады. Олар оңай деформацияланбай немесе бұзылмай ұзақ уақыт бойы тиеу және тасымалдау кезінде пайда болатын механикалық кернеуге төтеп бере алады.

5. Тамаша өлшемдік консистенция

Semicorex PECVD күн графиті қайығы дәл өңдеу арқылы барлық құрамдас бөліктерде ерекше өлшемдік дәлдікке қол жеткізеді. Ол тұндыру кезінде кремний пластинасын тұрақты күйде ұстайды, бұл біркелкі тұндыру мен автоматтандырылған өндіріспен үйлесімділікті қамтамасыз етеді.