PBN электростатикалық патрон

Материалдық қасиеттеріPBNЭлектростатикалық патрон

Жоғары температураға төзімділік және диэлектрлік беріктік

ThePBNЭлектростатикалық Чак өзінің ерекше жоғары температураға төзімділігімен танымал, бұл жартылай өткізгіштерді өндіру процесінде маңызды қасиет. Пиролиттік бор нитриді (PBN), патронды құрастыруда қолданылатын материал, ең жиі қолданылатын керамикаға қарағанда жоғары қарсылық көрсетеді, бұл Джонсен-Рахбек (J-R) патрон күшін 1050°C температураға дейін ұстап тұру үшін өте маңызды. Бұл жоғары кедергі, оның жоғары диэлектрлік беріктігімен бірге, тіпті қатты қызу кезінде де электр тоғының бұзылуын тиімді болдырмауға кепілдік береді, осылайша патронның жұмыс сенімділігін арттырады.

Термиялық біркелкі және соққыға төзімділік

1500°C асатын температурада химиялық бу тұндыру арқылы дайындалған PBN алтыбұрышты тор құрылымы оның тамаша термиялық біркелкілігі мен соққыға төзімділігіне ықпал етеді. ішіндегі жоғары тығыздықты қыздыру элементтеріPBNЭлектростатикалық патрон оған 600–800°C температурада 1,1–1,5% жақсы біркелкі пластинаның термиялық профиліне қол жеткізуге мүмкіндік береді. Сонымен қатар, PBN негізіндегі патрон керемет термиялық соққыға төзімділік пен төмен жылу массасын көрсетеді, бұл оны 23°C/сек жылдамдықпен 600°C-қа жетуге мүмкіндік береді.

Реттелетін көп аймақты жылыту

PBN электростатикалық патрон жоғары теңшеуге болады, ол максималды температураны бақылауға мүмкіндік беретін көп аймақты қыздыру мүмкіндіктері бар. Бұл теңшеу деңгейі әр түрлі жартылай өткізгішті өңдеу қолданбалары үшін икемді шешімді қамтамасыз ете отырып, әрбір патронды жеке тұтынушылардың нақты талаптарын қанағаттандыру үшін бейімделуін қамтамасыз етеді.

қолданбаларыPBNЭлектростатикалық патрон

Иондық имплантация және пластинаны өңдеу

PBN электростатикалық патрон иондарды имплантациялау процестерінде таңдаулы пластинаны өңдеу құрылғысы болып табылады. Оның пластиналарды 1000°C асатын температурада ұстау қабілеті оны нарықтағы ең әмбебап электростатикалық патрондардың біріне айналдырады. Бұл әмбебаптық жоғары тығыздықтағы көп аймақты қыздыру элементтерінің арқасында пластиналарды өте тығыз температура диапазонында ұстау мүмкіндігімен одан әрі жақсартады.

Кремний карбиді ионын имплантациялау

SiC ионын имплантациялаудың арнайы қолдануындаPBNЭлектростатикалық Чак вафельді жылыту және өңдеу қиындықтарына өміршең шешім ұсынады. Оның жоғары патрон күші, жоғары қыздыру қуаты, жақсы термиялық біркелкілігі және жылдам әрекет етуін қамтитын екі функциялы мүмкіндіктері оны SiC ионын имплантациялаудың күрделі талаптарын шешу үшін тамаша таңдау жасайды.

Жартылай өткізгіштерді өндіру

PBN электростатикалық патрон жартылай өткізгішті өндіруде маңызды рөл атқарады, мұнда вафельді дәл өңдеу және температураны бақылау маңызды. Оның жоғары термиялық соққыға төзімділігі және жылдам температураны көтеру мүмкіндіктері оны қатаң температураны басқаруды және жылдам термиялық циклді талап ететін жетілдірілген жартылай өткізгіш процестерге қолайлы етеді.