Жартылай өткізгіш жабдық палаталар мен палаталардан тұрады, ал көптеген керамика вафлиге жақын камераларда қолданылады. Керамикалық бөліктер, маңызды компоненттер, негізгі жабдықтардың қуысында кеңінен қолданылатын компоненттер, алюминий керамика, алюминий нитридтік керамика және кремний карбидтік к......
Ары қарай оқуӨңдеу әдісі бойынша, пайдалану, сыртқы түрі, кварц әйнегі екі санатқа жіктеледі: мөлдір және мөлдір емес. Мөлдір санатқа түрлендірілген мөлдір кварц әйнегі, кварц әйнегі, ерітілген кварц әйнегі, газды тазартылған мөлдір кварц әйнегі және синтетикалық кварц әйнегі кіреді.
Ары қарай оқу