CVD әдісімен TaC жабу

Тантал карбидті жабын - маңызды жоғары беріктікке, коррозияға төзімді және химиялық тұрақты жоғары температураға төзімді құрылымдық материал, балқу температурасы 4273 ° C дейін, ең жоғары температураға төзімді бірнеше қосылыстардың бірі. Оның тамаша жоғары температура механикалық қасиеттері, жоғары жылдамдықтағы ауа ағынының тазартылуына төзімділігі, абляцияға төзімділігі және графит және көміртекті/көміртекті композиттермен жақсы химиялық және механикалық үйлесімділігі бар. Сондықтан, GaN светодиодтары мен MOCVD сияқты SiC қуат құрылғыларының эпитаксиалды процесінде TaC жабыны H2, HCl, NH3-ге тамаша қышқыл мен сілтіге төзімділікке ие, ол графиттік субстрат материалын толығымен қорғай алады және өсу ортасын тазартады.

TaC жабыны 2000 °C жоғары температурада тұрақты болып қалады, ал SiC жабыны 1200-1400 °C температурада ыдырай бастайды, бұл сонымен қатар графиттік негіздің тұтастығын айтарлықтай жақсартады. Қазіргі уақытта тантал карбиді жабындары графиттік негіздерде негізінен CVD арқылы дайындалады және SiC қуат құрылғыларына және GaNLED эпитаксистік құрылғыларына сұранысты қанағаттандыру үшін TaC жабындарының өндірістік қуаты одан әрі жетілдіріледі.

Химиялық буларды тұндыру (CVD) арқылы көміртекті материалдарға тантал карбиді жабындарын қою үшін қолданылатын химиялық реакция жүйесі TaCl5, C3H6, H2 және Ar болып табылады, мұнда Ar сұйылту және тасымалдау газы ретінде пайдаланылады.

Тантал карбиді жабындары MOCVD қолданатын GaN жарықдиодтары мен SiC қуат құрылғыларының эпитаксиалды процесінде шешуші рөл атқарады. Жетілдірілген материалдар өмірлік маңызды құрамдастарды қорғап, олардың ұзақ қызмет ету мерзімін және жоғары температуралы жартылай өткізгіштерді өндірумен байланысты қатал жағдайларда өнімділігін қамтамасыз етеді.

SiC қуат құрылғылары мен GaN жарықдиодтарына сұраныс артып келе жатқандықтан, тантал карбиді жабындарының өндірістік қуаты кеңейеді. Өндірушілер жоғары температуралық технологияның дамуын жеңілдете отырып, осы салалардың өсіп келе жатқан талаптарын қанағаттандыруға дайын.

Қорытындысында,тантал карбиді жабындарыжоғары температуралы ортада материалдардың беріктігі мен сенімділігін қамтамасыз етудегі керемет технологиялық секіріс болып табылады. Жартылай өткізгіштер мен электрлік электроника секторларында төңкеріс жасауды жалғастыра отырып, бұл жабындар олардың қазіргі заманғы жоғары технологиялық жетістіктердің маңызды элементі ретіндегі мәртебесін көрсетеді.