CVD-SiC жабындарына температураның әсері

Химиялық буларды тұндыру (CVD) - аэроғарыш, электроника және материалтану сияқты салаларда әртүрлі қолданбалы жоғары сапалы жабындарды өндіруге арналған әмбебап әдіс. CVD-SiC жабындары жоғары температураға төзімділік, механикалық беріктік және тамаша коррозияға төзімділік сияқты ерекше қасиеттерімен танымал. CVD-SiC өсу процесі өте күрделі және бірнеше параметрлерге сезімтал, температура маңызды фактор болып табылады. Бұл мақалада біз температураның CVD-SiC жабындарына әсерін және оңтайлы тұндыру температурасын таңдаудың маңыздылығын зерттейміз.

CVD-SiC өсу процесі салыстырмалы түрде күрделі және процесті былайша қорытындылауға болады: жоғары температурада МТС шағын көміртек және кремний молекулаларын түзу үшін термиялық ыдырайды, негізгі көміртек көзінің молекулалары CH3, C2H2 және C2H4, және кремний көзінің негізгі молекулалары SiCl2 және SiCl3 және т.б.; бұл шағын көміртек және кремний молекулалары кейін тасымалдаушы және сұйылту газдары арқылы графиттік субстраттың бетіне жақын жерге тасымалданады, содан кейін олар адсорбат күйінде адсорбцияланады. Бұл шағын молекулалар тасымалдаушы газ және сұйылту газы арқылы графит субстратының бетіне тасымалданады, содан кейін бұл шағын молекулалар адсорбциялық күй түрінде субстрат бетіне адсорбцияланады, содан кейін шағын молекулалар әрқайсысымен әрекеттеседі. басқалары ұсақ тамшылар түзеді және өседі, ал тамшылар да бір-бірімен қосылып, реакция аралық жанама өнімдердің (HCl газы) түзілуімен бірге жүреді; графиттік негіз бетінің температурасы жоғары болғандықтан, аралық газдар субстрат бетінен ығыстырылады, содан кейін қалдық C және Si қатты күйге айналады. Ақырында, субстрат бетінде қалған C және Si SiC жабындысын қалыптастыру үшін қатты SiC фазасын құрайды.

ішіндегі температураCVD-SiC жабыныпроцестер өсу жылдамдығына, кристалдылыққа, біртектілікке, қосымша өнімдердің түзілуіне, субстрат үйлесімділігіне және энергия шығындарына әсер ететін маңызды параметр болып табылады. Оңтайлы температураны таңдау, бұл жағдайда, 1100°C, жабынның қажетті сапасы мен қасиеттеріне қол жеткізу үшін осы факторлардың арасындағы келісуді білдіреді.