AlN кристалын өсіру әдістері

AlN үшінші буынның жартылай өткізгіш материалы ретінде маңызды көк жарық және ультракүлгін жарық материалы ғана емес, сонымен қатар электронды құрылғылар мен интегралды схемалар үшін маңызды орауыш, диэлектрлік оқшаулау және оқшаулау материалы, әсіресе жоғары температура мен жоғары қуатты құрылғылар үшін қолайлы . Сонымен қатар, AlN және GaN жақсы термиялық сәйкестікке және химиялық үйлесімділікке ие, AlN GaN эпитаксиалды субстрат ретінде пайдаланылады, GaN құрылғыларындағы ақаулардың тығыздығын айтарлықтай азайтады, құрылғының жұмысын жақсартады.

Қолданудың тартымды перспективаларына байланысты жоғары сапалы, үлкен өлшемді AlN кристалдарын дайындау отандық және шетелдегі зерттеушілердің үлкен назарына ие болды. Қазіргі уақытта AlN кристалдары ерітінді әдісімен, алюминий металын тікелей азоттаумен, гидридті газ-фазалық эпитаксиспен және физикалық бу фазалық тасымалдаумен (PVT) дайындалады. Олардың ішінде PVT әдісі жоғары өсу жылдамдығымен (500-1000 мкм/сағ) және жоғары кристалдық сапасымен (дислокация тығыздығы 103 см-2 төмен) AlN кристалдарын өсірудің негізгі технологиясына айналды.

PVT әдісімен AlN кристалдарының өсуі сублимация, газ фазасының тасымалдануы және AlN ұнтағының қайта кристалдануы арқылы жүзеге асырылады және өсу ортасының температурасы 2 300 ℃ дейін жоғары. PVT әдісімен AlN кристалдарын өсірудің негізгі принципі келесі теңдеуде көрсетілгендей қарапайым:

2AlN(лар) ⥫⥬ 2Al(г) ＋N2(г)

Өсу процесінің негізгі қадамдары төмендегідей: (1) AlN шикі ұнтағын сублимациялау; (2) шикізаттың газ-фазалы компоненттерін тасымалдау; (3) өсу бетінде газ-фазалық компоненттердің адсорбциясы; (4) беттік диффузия және нуклеация; және (5) десорбция процесі [10]. Стандартты атмосфералық қысымда AlN кристалдары 1700 ℃ шамасында ғана Al буы мен азотқа баяу ыдырай бастайды, ал температура 2 200 ℃ жеткенде AlN ыдырау реакциясы тез күшейеді.

TaC материалы - тамаша физикалық және химиялық қасиеттері, тамаша жылу және электр өткізгіштігі, химиялық коррозияға төзімділігі және термиялық соққыға жақсы төзімділігі бар, өндіріс тиімділігі мен қызмет ету мерзімін тиімді жақсарта алатын, қолданылатын нақты AlN кристалды өсетін тигель материалы.

Semicorex жоғары сапаны ұсынадыTaC жабу өнімдерітеңшелген қызметпен. Егер сізде қандай да бір сұрақтарыңыз болса немесе қосымша мәліметтер қажет болса, бізбен байланысудан тартынбаңыз.

Байланыс телефоны +86-13567891907

Электрондық пошта: sales@semicorex.com