LTOI вафли

Subicorex RF сүзгілерінде, оптикалық құрылғыларда және MEMS технологияларында кеңейтілген қосымшаларға арналған жоғары сапалы LTOI вафли ұсынады. Біздің Вафтерлеріміз қалыңдығы 0,3-50 мкм, ерекше пьезоэлектрлік көрсеткіштер мен жылу тұрақтылығын қамтамасыз ететін қалыңдығы 0,3-50 мкм болатын литийландтық (LT) қабаты бар.

6 дюймдік және 8 дюймдік мөлшерде қол жетімді, бұл вафли әр түрлі кристалды бағыттарды, оның ішінде X, Z және Y-42 қысқартуларын, әр түрлі құрылғыға қойылатын талаптарға жан-жақты қамтамасыз етеді. Оқшаулағыш субстрат SI, SIC, SAPPHIRE,

 Spinel немесе Quartz, нақты қосымшалар үшін өнімділігін оңтайландыру.

Литий таналат (LT, LitaO3) Crystal - бұл керемет пьезоэлектрлік, ферроэлектрлік, акурстикалық, акустикалық-оптикалық және электро оптикалық әсері бар маңызды көп функционалды кристалды материал. Пьезоэлектрлік қосымшалармен кездесетін акустикалық деңгейлі кристалдарды жоғары жиілікті кең жолақты акустикалық резонаторлар, түрлендіргіштер, спутниктік байланыстар, теледидар, теледидар, эфирлер, радио, радио, қашықтықтан зондтау және телеметрия, сондай-ақ электронды қарсы шаралар, сақтандырғыштар, сақтандырғыштар, басқа да әскери кен орындарын дайындауға болады.

Дәстүрлі беттік акустикалық толқын (аралау) құрылғылар LT жалғыз кристалды блоктарда дайындалған, ал құрылғылар үлкен және CMOS процестерімен үйлесімді емес. Жоғары сапалы пьезоэлектрлік жеке кристалды жұқа қабықтарды қолдану аралау құрылғыларының интеграциясын жақсарту және шығындарды азайту үшін жақсы нұсқа болып табылады. Пьезоэлектрлік жұқа қабықшаларға негізделген пьезоэлектрлік жиіліктегі құрылғылар аралау құрылғыларының жартылай өткізгіш материалдарын субстрат ретінде қолдана отырып, жоғары жылдамдықты кремний, сапфир немесе алмаз субстраттарын таңдау арқылы қол жеткізу жылдамдығын арттыра алмайды. Бұл субстрат пьезоэлектрлік қабаттың ішіндегі энергияны бағыттау арқылы толқындардың жоғалуын баса алады. Сондықтан, дұрыс пьезоэлектрлік жеке кристалды пленканы және дайындық процесін таңдау жоғары сапалы, арзан және жоғары интеграцияланған аралар алудың негізгі факторы болып табылады.

Пьезоэлектрлік акустикалық құрылғылардың кейінгі қажеттіліктерін интеграциялау, миниатюрация, жоғары жиілік және ірі өткізу қабілеттілігінің шұғыл қажеттіліктерін қанағаттандыру үшін, RF-тің алдыңғы қатарлы технологиялары (ТМД) және вафли технологиясын біріктіретін смарт-кескіш технологиялар (LTOI вафли) Жоғары өнімділіктің және төмен өнімділік пен төмендетілген радио сигналдарын өңдеудің жаңа шешімі және шешімі. LTOI - революциялық технология. LTOI вафлиіне негізделген құрылғылар аз мөлшерде, үлкен өткізу қабілеттілігінің, үлкен өткізу қабілеттілігінің, жоғары жұмыс жиілігінің және IC интеграциясының артықшылықтары бар және нарықтық қолдану перспективалары бар.

Кристалды ион имплантациясы (ТМД) ТЕХНИКАЛЫҚ КИНИНИНГРОНЫҢ ҚОЛДАНЫЛАТЫН КІРІСПЕ СЫЙЛЫҚТЫ КІРІСПЕЛІК МАТЕРИАЛДАРДЫ ДАМЫТУ КЕРЕКЦИЯЛЫҚ КІТАПТАРДЫ ОРНАТУ ҮШІН ЖӘНЕ БАСҚАРУ ПРЕЗИДЕНТТЕРІНІҢ ҚЫЗМЕТТЕРІНІҢ ҚЫЗМЕТІНІҢ ҚЫЗМЕТТЕРІ, мысалы, ион имплантациясы, имплантация дозасы және емделетін температура. ТМД технологиясы бойынша, ТМД технологиялары мен вафли технологиясы негізінде ақылды кесілген технологиялар субстрат материалдарының кірістілігін жақсартып қана қоймай, сонымен қатар материалдарды бірнеше рет пайдалану арқылы шығындарды одан әрі азайтады. 1-сурет - ион имплантациясының схемалық диаграммасы және вафлиді байланыстыру және пилинг. Smart-кесілген технологияны алғаш рет Франциядағы SOITEC әзірледі және жоғары сапалы кремний оссуляциясы (SOI) вафлиді дайындауға жүгінді [18]. Smart-кесілген технологиялар тек жоғары сапалы және арзан емес SOI-вафли шығарып қана қоймай, сонымен қатар иондық имплантация энергиясын өзгерту арқылы оқшаулағыш қабаттағы Si-дің қалыңдығын бақылайды. Сондықтан SOI материалдарды дайындауда күшті артықшылыққа ие. Сонымен қатар, Smart-кесілген технология әр түрлі кристалды қабықшаларды әртүрлі субстратқа беру мүмкіндігі бар. Оны арнайы функциялары мен қосымшалары бар көп қабатты жұқа пленктер дайындау үшін, мысалы, SI субстраттарында және SI-дің кинофильмдерін салу және кремнийге жоғары сапалы пьезоэлектрлік жұқа пленкалық материалдар дайындау үшін қолдануға болады. Сондықтан, бұл технология жоғары сапалы литийдің жалғыз кристалды қабықшаларын дайындаудың тиімді құралына айналды.